微流量計(jì)量方法研究
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2 氣體微燃料的計(jì)量
氣體流量是單位時(shí)間內(nèi)通過某一截面的氣體量，其狀態(tài)由壓力、體積和時(shí)間3個(gè)參量來描述。氣體流量的測量有3種方法：若氣體壓力保持不變，通過改變氣體體積的測量方法，則為恒壓法；若體積保持不變，通過改變壓力的測量方法，則為定容法；若壓力和體積都在變化，則為變壓變?nèi)莘āＳ纱丝芍?，根?jù)流量測量的方法，可分為恒壓式流量計(jì)、定容式流量計(jì)和變壓變?nèi)菔搅髁坑?jì)。變壓變?nèi)菔搅髁坑?jì)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，控制難度大，實(shí)際應(yīng)用的較少，一般采用恒壓式流量計(jì)和定容式流量計(jì)。
2.1 恒壓式流量計(jì)
圖6為恒壓式氣體微流量計(jì)原理圖。該恒壓式氣體微流量計(jì)能夠提供3.96×10-4Pa?m3/s~3.64×10-8Pa?m3/s范圍內(nèi)的氣體微流量。在10-8Pa?m3/s范圍內(nèi)的相對合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為1%，在1×10-7Pa?m3/s~1×10-4Pa?m3/s范圍內(nèi)的相對合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為0.7%。流量測量原理是：當(dāng)氣體流入或流出變?nèi)菔視r(shí)，改變變?nèi)菔业娜莘e，使變?nèi)菔抑袣怏w壓力保持恒定，則氣體在Tr溫度（Tr一般取23℃）下的流量就可以通過測量變?nèi)菔覂?nèi)氣體的壓力P、溫度T和體積變化率dV/dt而計(jì)算得到。
Q=-[d（P?V）/dt]?（Tr/T）=-P?（dV/dt）?（Tr/T）（dP/dt=0），（1）
式中：Q為氣體流量，單位：Pa?m3/s；P為變?nèi)菔覊毫?，單位：Pa；dV/dt為變?nèi)菔殷w積變化率，單位：m3/s；Tr/T為變?nèi)菔覝囟茸兓?，無量綱。
圖6 恒壓式氣體微流量計(jì)原理圖
圖7為所設(shè)計(jì)的定容式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置工作原理圖。該標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)范圍為1×10-3Pa?m3/s~10Pa?m3/s，不確定度（1σ）小于1.2%。整套裝置采用全金屬結(jié)構(gòu)，校準(zhǔn)室是圓柱形不銹鋼容器，容器內(nèi)表面通過機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光處理以減小吸放氣的影響。采用全金屬的真空閥門，閥門之間的部分過渡和連接管道由機(jī)床加工而成，避免了由于管道焊接帶來的形位公差而引起的漏氣。在校準(zhǔn)室周圍設(shè)計(jì)了旁通管道，既有利于在測量中穩(wěn)定氣體流量，又便于對整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行清洗.整套裝置由計(jì)算機(jī)程序控制，實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)過程的全自動化操作。
圖7 定容式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置工作原理圖
微型動力源的研究是在微型機(jī)械設(shè)備制造技術(shù)最近取得發(fā)展的基礎(chǔ)上進(jìn)行的。微流量的計(jì)量精度對于分析實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，掌握微火焰的各種燃燒特性，提高微機(jī)電設(shè)備的穩(wěn)定性等都有重要的作用。本文對幾種液體、氣體微流量計(jì)量方法作了簡單的介紹，具有重要的參考價(jià)值。(end)
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