齒輪測(cè)量技術(shù)新進(jìn)展
圖11 激光全息齒面測(cè)量的結(jié)構(gòu)圖
圖12 齒面測(cè)量實(shí)例
圖13為在該儀器上測(cè)量大阪精機(jī)公司制造的齒輪漸開線樣板的結(jié)果。所用測(cè)針的頂端曲率半徑為2μm,因而可以測(cè)量齒面的粗糙度。圖14為松下電器產(chǎn)業(yè)開發(fā)的采用原子力測(cè)頭的超精密三維測(cè)量?jī)x。由于測(cè)頭按直線方向配置,故齒輪測(cè)量受到一定限制,但在測(cè)量限定齒數(shù)的齒輪樣板時(shí),其測(cè)量精度可達(dá)到納米級(jí)。
圖13 漸開線樣板的測(cè)量
圖14 超精密三維測(cè)量機(jī)
評(píng)論