使用白光干涉儀過程中的疑問
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19、問：該設備光源的中心波長是多少？
答：該設備 光源為白光，也是可見光，其波長范圍是可見光的波長范圍在0.77～0.39微米之間。
20、問：工作臺部分可傾斜一定角度有何作用？
答：只是提供初步的水平調整用，可是只有SIS-1200Plus 有此功能，自動機臺是沒有的。
21、問：橫向分辨率和縱向分辨率為何有差別？
答：縱向分辨率是固定的而且很高，橫向分辨率在不同倍率下是不同的，他們檢測原理也是不同的。
22、問：該設備有幾種軟件界面？
答：有兩款軟件界面，一款測量軟件，一款為分析軟件
23、問：該設備手動和自動如何區(qū)分？
答：Stage不同，控制程序可以設定planning，自動判定等等，看如何運用。
24、問：測量產(chǎn)品時機臺因氣浮式隔離，可能會晃動，是否會對測量產(chǎn)生影響？
答：隔離器的作用就是防止震動，因該設備為納米級的設備，所以外界輕微的震動都會對測量造成影響。在使用過程中呢，如果沒有通氣，您會明顯看到干涉條紋的晃動，但是正因有此氣浮隔離器的存在，所以當外界存在震動時，花崗巖平臺是穩(wěn)定的，當然如果你刻意的推動花崗巖工作臺時，肯定對測量有影響了。
25、問：變換鏡頭倍率是否需要重新校正，在不同倍率其重復性是否相同？
答：變換倍率后不需要重新校正(使用之前有校正過，傾斜工作平臺，粗調精調等部件沒有被動過，一般在變換倍率后不需要重新校正。
26、問：掃描方向對測量有無影響，是否固定為從上往下或從下往上？
答：一般都是從上往下掃描。
27、問：PZT是什么，其作用是什么？
答：PZT是壓電陶瓷驅動器，產(chǎn)生相位移，使得干涉條紋間的相位變化(360度)可計算得每一度相位變化處的相對高度，大幅提升量測分辨率。
28、問：白光干涉儀是否需要每次開機校正？
答：不需要每次開機校正，校正OK后，只要沒有經(jīng)過搬動或工作臺做新的調整，一般都不重新校正，這也是該設備的一個亮點。
29、問：改產(chǎn)品縱向掃描范圍是150微米，如果掃描更大行程尺寸，是否可以分段掃描在疊加在一起？
答：是不可以的，如果產(chǎn)品尺寸在縱向超過150微米，是不能測量到的。
30、問：有一個產(chǎn)品有100mm*50mm，用該設備只能掃描很小區(qū)域，如果掃描整個平面的粗糙度，是否可以？
答：因為此類設備是納米級設備，主要測量產(chǎn)品的微觀尺寸及表面等特征，所以測量的一般都是很小的點區(qū)域，但是對于此設備的概念及一般客戶的需求，這樣大小區(qū)域各種特征的測試已經(jīng)足夠，至于像您提到的100mm*50mm大小的整個平面的平面度是無法測量的，不過可以多測量一些點，做為參考。
31、問：線上設備主要用來測什么呢？
答：線上設備主要也是檢測彩色濾光片上的 photo spacer的高度，還有就是彩色濾光片與TFT基板貼合對位的檢測。
32、問：該設備可否測涂層厚度，涂層如果有多層，是否必須進行破壞，基準面怎么選??？
答：可以測量涂層厚度，如果有多層的話，必須在不同層間形成臺階，方可檢測，如果不同層間為透光材質，理論上也可試測。
33、問：該設備工作臺可以承重是多少？
答 ：一般5公斤的承重是沒問題的。
34、問：該設備一般多產(chǎn)品的反光率要求是多少？
答：對產(chǎn)品的反光率要求一般要大于4%.
35、問：該設備在Z軸方向上的掃描范圍只有150μm，但我司產(chǎn)品有300μm，請問貴司產(chǎn)品可以測嗎？
答： 如果有要求這樣的掃描范圍， 我們可根據(jù)您的要求來訂做，因為對于這樣的設備，掃描范圍超過100μm已經(jīng)很大，而且以我們以往客戶使用情況來看，超過150μm 很少會使用到。
36、問：該設備的運動精度是多少？
答 ：Z軸方向上的運動精度是2個μm，X、Y軸是5μm .
37、問：請問該設備掃描面積與視野大小是相同的嗎？
答：掃描面積與視野的概念在此設備上是等同的，可以為客戶截圖進行說明。(end)
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