利用吉時利4200-SCS型優(yōu)化小電流測量的最佳解決方案
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圖11所示為保護(hù)消除可能會通過測試夾具內(nèi)隔離絕緣體的原理。在圖11a中，漏流(IL)通過隔離絕緣體(RL)。該漏流增加至來自于DUT(IDUT)，然后被SMU安培計測得(IM)，對小電流測量的準(zhǔn)確度造成不利影響。
圖11.利用保護(hù)減小測試夾具中的漏流
在圖11b中，金屬安裝板被連接至SMU的保護(hù)端子。隔離絕緣體頂部和底部的電壓接近相同電勢(0V壓降)，所以在隔離絕緣體中就不會有漏流影響測量準(zhǔn)確度。由于金屬安裝板將處于保護(hù)電勢，所以為安全起見，金屬屏蔽必須連接至地。
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