基于集成壓力傳感器的無(wú)源胎壓監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　該系統(tǒng)的基本工作原理如下，把輪胎模塊裝置在輪胎內(nèi)，壓力和溫度傳感器檢測(cè)輪胎內(nèi)部當(dāng)前的應(yīng)力和溫度信息，獲得的模擬信號(hào)經(jīng)過(guò)A/D變換器轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，然后通過(guò)射頻發(fā)射器發(fā)送出去。車載接收模塊裝置在駕駛室內(nèi)，射頻接收器接收來(lái)自輪胎模塊的應(yīng)力和溫度信息，當(dāng)輪胎壓力過(guò)高或者過(guò)低時(shí)，通過(guò)顯示和報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信息。

　　在車載接收模塊，射頻接收解碼芯片采用摩托羅拉的MC33594芯片，該芯片是和射頻發(fā)射芯片MC33493芯片配套的射頻接收芯片，其工作電壓是5 V?？刂破鞑捎媚ν辛_拉的MC9S08AW16單片機(jī)，該芯片的內(nèi)核為S08，可以與輪胎模塊的單片機(jī)MC6S08QG8采用同樣的開(kāi)發(fā)環(huán)境，另外該芯片為5 V供電，與射頻接收芯片以及LCD顯示芯片電平兼容。

　　5 新型的胎壓監(jiān)控傳感器分析

　　壓力傳感器和溫度傳感器是輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，設(shè)計(jì)并制作了一種新型傳感器，它包含壓阻式壓力傳感器和溫度傳感器兩部分。

　　其中，壓阻式壓力傳感器主要是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)，把一個(gè)惠斯通電橋做在一個(gè)硅杯上，如圖4所示。當(dāng)硅杯受到壓力后發(fā)生形變，惠斯通電橋的四個(gè)橋臂電阻就會(huì)發(fā)生變化，打破了電橋的電平衡，從而會(huì)有一個(gè)電信號(hào)的輸出。

　　溫度傳感器采用單電阻結(jié)構(gòu)，在n型硅襯底上制作一個(gè)p型電阻。囚為p型注入電阻有一個(gè)正的溫度系數(shù)，當(dāng)溫度發(fā)生變化時(shí)，電阻的阻值就會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化。通過(guò)給電阻以電流源供電，就可以通過(guò)測(cè)量電阻上的電壓來(lái)檢測(cè)溫度的變化。

　　圖5是本文制作的傳感器芯片的電鏡照片。圖5(a)為器件正面全貌;圖5(b)為薄膜正面;圖5(c)為薄膜背面。其中壓敏元件采用比常規(guī)更厚的50μm 硅杯薄膜(500 μm×500μm)，增大了體硅上高應(yīng)力區(qū)的面積，在降低工藝要求的同時(shí)提高了線性測(cè)量范圍和過(guò)載壓力。

　　初步的測(cè)試結(jié)果表明集成傳感器具有良好的性能。壓力傳感器的滿量程輸出為150 mV，壓力測(cè)量范圍為0～500 kPa，靈敏度為0.3 mV/kPa。溫度傳感器的靈敏度為1.24 mV/℃，非線性為1.6%。壓力溫度集成傳感器完全適用于胎壓監(jiān)控系統(tǒng)的要求。

　　6 結(jié) 語(yǔ)

　　在分析了輪胎壓力監(jiān)摔系統(tǒng)的原 理及各種不同解決方案的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了一種新型的輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng)解決方案。根據(jù)TPMS的要求，設(shè)計(jì)制作了一種壓力溫度集成傳感器，該器件工藝簡(jiǎn)單，成品率高，與標(biāo)準(zhǔn)IC工藝兼容。