國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備實現(xiàn)中低端突破

　近年來，我國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)不斷開拓創(chuàng)新，為國內(nèi)IC產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展添磚加瓦，尤其是北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司和北京中科信電子裝備有限公司成功研制出100納米半導(dǎo)體設(shè)備，并順利進入中芯國際生產(chǎn)線，再次印證了唯有創(chuàng)新才是半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)發(fā)展的根本。

　　半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)需要創(chuàng)新

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展遵循“摩爾定律”，其顯著的特點就是更新?lián)Q代快，因此對其進行支撐的設(shè)備制造業(yè)更需要加快研究進程來滿足它。

　　北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司總經(jīng)理盛金龍在接受《中國電子報》記者采訪時表示，半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展本身就是技術(shù)創(chuàng)新的過程，IC以“摩爾定律”高速發(fā)展，其實其背后是以設(shè)備的創(chuàng)新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術(shù)總是用新一代設(shè)備實現(xiàn)的。

　　中電科技集團公司第45研究所副所長王志越表示，創(chuàng)新對于半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)非常重要。當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備的最大特點是不僅僅提供硬件設(shè)備本身，而是承擔(dān)了包括工藝菜單、工藝控制及工藝集成的總體解決方案。也就是說設(shè)備是來自于工藝，通過創(chuàng)新和工藝物化，又回歸于工藝。所以對于半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)來說，“創(chuàng)新是賴以生存的基礎(chǔ)，是企業(yè)不斷發(fā)展的保障”，沒有創(chuàng)新的半  
導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)不可能生存。

　　北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司董事長秦建國告訴記者，創(chuàng)新給半導(dǎo)體企業(yè)帶來更好的活力、更高的效益，企業(yè)有了創(chuàng)新的產(chǎn)品及創(chuàng)新的技術(shù)就會在激烈的市場競爭中得到更快更好的發(fā)展，現(xiàn)在中國電子行業(yè)與國外電子同行相比，主要是技術(shù)、設(shè)備的落后，引進新的技術(shù)、設(shè)備是國內(nèi)電子行業(yè)發(fā)展的一個重要辦法，而更重要的是要中國電子專用設(shè)備的生產(chǎn)制造商能自主研發(fā)、生產(chǎn)出更好的新產(chǎn)品，為中國電子行業(yè)的發(fā)展提供一個良好的平臺。

　　保持源源不斷創(chuàng)新能力

　　創(chuàng)新是一項系統(tǒng)工程，企業(yè)要想在市場上擁有一席之地，必須具有源源不斷的創(chuàng)新能力，并不斷將其創(chuàng)新產(chǎn)品推向市場。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)要想在被國外企業(yè)一統(tǒng)天下的設(shè)備領(lǐng)域有所作為，不斷創(chuàng)新是明智之舉。

　　王志越表示，首先，要建立起以分配機制為主的有效激勵的創(chuàng)新機制，貫徹落實國家有關(guān)科研成果、知識產(chǎn)權(quán)等要素全面參與分配精神。其次，要積極培育企業(yè)的創(chuàng)新能力，要著重從企業(yè)決策機制、資源有效整合、科學(xué)管理、研發(fā)經(jīng)費投入等等方面不斷完善和提高，逐步使企業(yè)在基礎(chǔ)環(huán)節(jié)上具備創(chuàng)新與騰飛的本領(lǐng)。第三，“不拘一格降人才”，建立一支強大的創(chuàng)新團隊。第四，不能把自主創(chuàng)新同引進技術(shù)對立起來。自主開發(fā)并不意味故步自封。沒有一個國家能包攬所有源技術(shù)的開發(fā)，必須互相借鑒?，F(xiàn)在，我們國家大部分行業(yè)在自我測評時都認(rèn)為同發(fā)達(dá)國家的差距在10年-20年左右。不引進技術(shù)，靠自己關(guān)起門來埋頭苦干是不行的。在大多數(shù)產(chǎn)業(yè)中，我們還必須站在別人的肩膀上前進。此外國產(chǎn)化并不意味著所有的零部件都必須要國內(nèi)制造。在當(dāng)今經(jīng)濟全球化的環(huán)境下，關(guān)鍵是擁有核心技術(shù)的知識產(chǎn)權(quán)。

　　秦建國告訴記者，企業(yè)要保持不斷的創(chuàng)新，首先應(yīng)認(rèn)識到創(chuàng)新給企業(yè)帶來的發(fā)展后勁，發(fā)展要依靠開拓創(chuàng)新，創(chuàng)新產(chǎn)品要有三個方面支持：第一要有研發(fā)人員；第二要有資金支持；第三要有市場的需求。沒有人才就無法創(chuàng)新，沒有資金的支持也就談不上創(chuàng)新，市場是創(chuàng)新產(chǎn)品的目的。要使企業(yè)不斷地推出創(chuàng)新產(chǎn)品，就要結(jié)合人才、資金、市場三方面，這樣才能使企業(yè)不斷地發(fā)展壯大，一個好的創(chuàng)新方式會使企業(yè)得到很好的回報。

　　北京中科信電子裝備有限公司副總經(jīng)理孫勇表示，企業(yè)是創(chuàng)新的主體，企業(yè)只有在不斷的創(chuàng)新中才不會步入衰退期。這就要求具有適應(yīng)社會各種變化能力的研發(fā)團隊，營造創(chuàng)新的組織與文化精神。在創(chuàng)新的氛圍下，創(chuàng)新才有動力，企業(yè)才有核心競爭力，才能立于不敗之地。此外，企業(yè)應(yīng)整合各種社會資源，不關(guān)起門來搞創(chuàng)新，必須建立開放式的創(chuàng)新平臺，吸納和整合各種資源，形成一個創(chuàng)新集群，一切為我所用，提高創(chuàng)新質(zhì)量。

　　初嘗創(chuàng)新甜果

　　在不斷創(chuàng)新動力的推動下，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)取得一個又一個成果，他們或是從現(xiàn)有設(shè)備出發(fā)，努力開拓新應(yīng)用領(lǐng)域；或是面對全新的技術(shù)及工藝，讓國產(chǎn)設(shè)備用在國內(nèi)IC大生產(chǎn)線；或是不斷改進產(chǎn)品性能，最終替代進口產(chǎn)品。

　　盛金龍告訴記者，他們在研制新設(shè)備的同時，不斷使用新的技術(shù)，運用新的知識，通過不斷創(chuàng)新，使設(shè)備達(dá)到新的水平。設(shè)備制造的創(chuàng)新，還需要體制創(chuàng)新、意識創(chuàng)新，設(shè)備制造的體制創(chuàng)新還在于引進人才，通過智力的引入使國產(chǎn)設(shè)備與國際設(shè)備行業(yè)融合，通過這些融合，把國產(chǎn)設(shè)備提升到新的層次。正是在這種理念的引導(dǎo)下，他們研制成功了PECVD設(shè)備。事實上，他們研究薄膜淀積技術(shù)和相關(guān)設(shè)備已多年，以前的PECVD設(shè)備主要應(yīng)用于IC行業(yè)。他們是在以前的研究基礎(chǔ)上對設(shè)備進行較大的改進以適應(yīng)于太陽能行業(yè)。應(yīng)用于IC行業(yè)的PECVD裝片舟均采用鋁材料制作，其耐溫低、易變形的缺點使其不適用太陽能行業(yè)。我們在做了大量試驗并參考了國外設(shè)備之后，最終采用了新裝片舟用來承載硅片。并根據(jù)實際使用情況不斷改進其結(jié)構(gòu)，逐步完善舟的設(shè)計，使其更加適用于大規(guī)模太陽能電池生產(chǎn)線，并不斷提升我國太陽能產(chǎn)業(yè)鏈整體技術(shù)水平。