應用材料公司推出Centura Carina Etch系統(tǒng)克服高K介電常數(shù)

近日，應用材料公司推出Centura® Carina™ Etch系統(tǒng)用于世界上最先進晶體管的刻蝕。運用創(chuàng)新的高溫技術，它能提供45納米及更小技術節(jié)點上采用高K介電常數(shù)/金屬柵極(HK/MG)的邏輯和存儲器件工藝擴展所必需的材料刻蝕輪廓，是目前唯一具有上述能力并可以用于生產(chǎn)的解決方案。應用材料公司的Carina技術具有獨一無二的表現(xiàn)，它能達到毫不妥協(xié)的關鍵刻蝕參數(shù)要求：平坦垂直，側邊輪廓不含任何硅材料凹陷，同時沒有任何副產(chǎn)品殘留物。

應用材料公司資深副總裁、硅系統(tǒng)業(yè)務部總經(jīng)理Tom St. Dennis表示：“這是第一套專門為應對HK/MG產(chǎn)品的挑戰(zhàn)而設計的刻蝕系統(tǒng)。我們的客戶對Carina系統(tǒng)帶來的新技術都很感興趣，全球多個領先的邏輯和存儲半導體制造廠商已經(jīng)安裝了這套系統(tǒng)?！?

這套系統(tǒng)高性能的關鍵之處在于其擁有知識產(chǎn)權的高溫陰極。高溫工藝可以提供平坦垂直的輪廓，不會產(chǎn)生傳統(tǒng)溫度工藝下帶來困擾的高K介質材料殘留和硅材料凹陷。此外，高溫防止了被刻蝕的材料再次沉積到硅片上，也無需采用復雜的濕/干組合工藝去除殘余物。先進的反應腔材料能提供長期的工藝穩(wěn)定性和所有可用的先進柵極刻蝕系統(tǒng)中最低的耗材成本。