KLA-Tencor發(fā)布全新的Puma9000產(chǎn)品晶圓檢測系統(tǒng)

KLA-Tencor 公司于今日公開發(fā)表其全新的 Puma 9000 產(chǎn)品晶圓檢測系統(tǒng)—也是第一套新世代的檢測解決方案，堪稱為瑕疵管理需求的完整范圍樹立了全新的效能標準。Puma 9000 的開發(fā)過程中已與客戶密切合作，不僅解決了新的瑕疵問題，同時也在 65-nm 與 45-nm 節(jié)點方面獲致極為優(yōu)異的成果。Puma 9000 將高度模化與可擴充的架構(gòu)與 KLA-Tencor 創(chuàng)新的暗視野成像 Streak™ 技術(shù)加以結(jié)合，在生產(chǎn)能力方面可以獲得最高的關(guān)鍵缺陷擷取。Puma 9000 已經(jīng)獲得突破性的成本與效能優(yōu)勢，并可將此優(yōu)勢提供全球領(lǐng)先的晶圓廠所安裝的 30 種以上系統(tǒng)中的邏輯與內(nèi)存芯片—如此也使得它成為 KLA-Tencor 歷史中銷售成長最快速的新產(chǎn)品之一。 

Hynix 半導(dǎo)體是 KLA-Tencor 的早期合作伙伴之一，其針對先進的內(nèi)存開發(fā)測試系統(tǒng)功能的完整范圍。「Puma 能夠讓我們的研發(fā)小組在生產(chǎn)能力極高的同時，仍然能夠偵測到極小的重大瑕疵?！笻ynix 的執(zhí)行副總裁 Sung Wook Park 如此表示：「Puma 也因此在我們的 70-nm DRAM 與 Flash 裝置的開發(fā)與生產(chǎn)中扮演重要的角色。因此，我們的研發(fā)部門與先進的 300-mm 生產(chǎn)線中都已采用此工具。」

在談到 Puma 9000 的需要時，KLA-Tencor 的芯片檢驗小組的小組副總裁Lance Glasser 表示芯片制造商今日面臨到前所未有的挑戰(zhàn)，這些由消費者世代所帶來的挑戰(zhàn)包括新興市場、技術(shù)與成本的變化?！讣铀佼a(chǎn)品上市期間對于客戶的獲利從未像目前這樣重要，而客戶從前也未曾面臨像現(xiàn)在這樣的成本壓力。因此，他們需要值得信賴、強而有力且高價值的檢測系統(tǒng)，以便加速其關(guān)鍵技術(shù)的移轉(zhuǎn)與改善生產(chǎn)流程—最終在下一代的芯片中達到增加產(chǎn)量、加速上市時間與高投資報酬 (ROI) 率的目標」。 

全新開發(fā)的 Sub-65-nm Era 檢測方式
Puma 9000 能夠達到領(lǐng)先業(yè)界效能的目標皆歸因于 KLA-Tencor 創(chuàng)新的 Streak™ 暗視野成像技術(shù)，它成功地克服了傳統(tǒng)掃描雷射與光電增倍管 (PMT) 式的檢測系統(tǒng)的基本限制。Streak 可適應(yīng)多重技術(shù)世代，并將先進的紫外線 (UV) 照明光學與高速成像加以結(jié)合，提供使關(guān)鍵缺陷偵測有最佳成效的檢測模式范圍，同時對于生產(chǎn)能力完全沒有影響。專利的固態(tài)線性感應(yīng)器是用于使散亂的光線成像，如此可延長感應(yīng)器的動態(tài)范圍以產(chǎn)生最佳的可用訊噪比，以及產(chǎn)生更穩(wěn)定與可重復(fù)的測量結(jié)果 (與使用 PMT 能夠達到的結(jié)果相比)。  

符合Critical Line 監(jiān)控與 CoO 需求
除了其 Streak 技術(shù)所提供的獨特優(yōu)點以外，Puma 9000 還保留了傳統(tǒng)的暗視野優(yōu)點－高效率的噪聲抑制與面向篩選，改善在關(guān)鍵層的缺陷擷取能力。已上線的內(nèi)線自動缺陷分類 (iADC) 技術(shù)可啟用實時分類以及智能取樣，讓客戶可以將專注力集中在其重要缺陷上。此平臺對于現(xiàn)有檢測系統(tǒng)的增強敏感性，同時又不損及生產(chǎn)能力的特性可讓客戶采行符合其成本要求的檢測策略，同時又能達成較為緊縮的生產(chǎn)控制。 

Puma 9000 將其目標鎖定在解決芯片制造商迫切的總體擁有成本 (CoO) 需求，因此 Puma 9000 的架構(gòu)便具有模塊化設(shè)計的特色，具有多重技術(shù)世代的可擴充性。Puma 9000 可透過應(yīng)用程序進行組態(tài)，IC 制造商可藉由單一平臺的解決方案同時獲得內(nèi)存與邏輯生產(chǎn)中最廣泛的檢測應(yīng)用程序范圍，以及符合成本效益的升級途徑以利日后的擴充之需。此外，系統(tǒng)還與 KLA-Tencor 最新的明視野與電子束光 (e-beam) 檢測系統(tǒng)共享共同的使用者接口，減少操作者訓練并改善快速整合至生產(chǎn)的使用便利性。 

業(yè)界在缺陷管理方面的一大突破
「對于我們的客戶而言，以符合成本的方式因應(yīng)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)導(dǎo)能力所需的快速技術(shù)變更是一項極為艱巨的挑戰(zhàn)」Glasser 補充說明：「Puma 是流程控制解決方案的擴充組合的一部份，可解決客戶在需要高效能與符合成本的檢測系統(tǒng)，同時不能影響產(chǎn)量的雙重要求，提供客戶更高的能力可降低成本并解決制造先進 IC 時會遇到的問題」。 

KLA-Tencor 表示 Puma 9000 為其完整的全新的檢測系統(tǒng)中的第一個工具，而此套完整的檢測系統(tǒng)將在未來的數(shù)月中問市。這些高擴充性與生產(chǎn)價值的工具被預(yù)期會在產(chǎn)業(yè)中設(shè)立全新的效能標準，因為它們將高缺陷擷取與快速產(chǎn)生結(jié)果的時間加以結(jié)合。