半導體設備創(chuàng)新應從實際出發(fā)準確定位產(chǎn)品

　　每一個半導體設備企業(yè)一定要根據(jù)自身產(chǎn)品的技術特點，集中研發(fā)適合于自身企業(yè)發(fā)展特點的半導體設備，才能逐步從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面。

　　“摩爾定律”為半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了加速度，在整個產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的同時，對其進行支撐的設備制造業(yè)也需要通過不斷創(chuàng)新、加快研究進程來滿足整個產(chǎn)業(yè)的需求。

　　設備創(chuàng)新帶動產(chǎn)業(yè)發(fā)展

　　半導體設備的發(fā)展本身就是技術創(chuàng)新的過程，IC產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，其背后是以設備的創(chuàng)新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術總是用新一代設備實現(xiàn)的。

　　開發(fā)新產(chǎn)品適應市場的需求是每個企業(yè)必須考慮的問題，半導體設備企業(yè)也不例外。北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司董事長秦建國表示，半導體設備創(chuàng)新可以為用戶提高生產(chǎn)能力和產(chǎn)品質(zhì)量，降低產(chǎn)品成本。這樣的創(chuàng)新產(chǎn)品會給企業(yè)及用戶雙方帶來更好的效益。為了開發(fā)新的產(chǎn)品要不斷地吸收高科技人才，對該行業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)要有充分的認識，對該行業(yè)的發(fā)展方向要不斷地了解情況，以便設備企業(yè)能跟上國內(nèi)外半導體行業(yè)的快速發(fā)展，更快更好地為市場提供優(yōu)質(zhì)的設備。

　　中電科技集團第四十五所技術工程部主任張續(xù)業(yè)告訴記者，國內(nèi)從事半導體設備研發(fā)制造的企業(yè)如果沒有創(chuàng)新，面對國內(nèi)外的大市場，就肯定沒有可持續(xù)發(fā)展的后勁，就不會有美好的明天和很好的經(jīng)濟效益，更不會從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面，就會永遠跟在國際先進技術后面無法超越。因此，每一個半導體設備企業(yè)一定要根據(jù)自身產(chǎn)品的技術特點，集中研發(fā)適合于自身企業(yè)發(fā)展特點的半導體設備，困難再大也要堅持下去，只有這樣，才能逐步從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面。當然，在某些外部環(huán)境上還得尋求國家有關部委的政策性支持。

　　北京京運通科技有限公司副總經(jīng)理王軍在接受《中國電子報》記者采訪時表示，沒有創(chuàng)新就沒有生命力。我國半導體設備技術本身就落后于其他發(fā)達國家，所以企業(yè)創(chuàng)新能力也就是國家在該領域趕超其他國家的重要力量;其次，在技術飛速發(fā)展的信息社會，旺盛的創(chuàng)新能力是企業(yè)健康發(fā)展、產(chǎn)品滿足市場的重要因素。

　　設備商應緊密聯(lián)系用戶

　　半導體行業(yè)的技術更新很快，設備廠商必須與用戶緊密聯(lián)系、合作，才能急客戶之所急，才能不斷推出客戶需要的產(chǎn)品，并在使用中不斷完善提高。

　　張續(xù)業(yè)告訴記者，從45所幾十年的發(fā)展過程來看，雖然在樣機研發(fā)、基礎預研等方面填補了多項國家空白，為國家做出了相當大的貢獻,但要進入大生產(chǎn)線尚需一定的時間。主要原因是我國的基礎工業(yè)和配套能力與國外公司相比，差距太大，這是一個解決起來非常困難的系統(tǒng)工程，還需國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈上下端的企業(yè)共同做出艱辛努力，才能達到預期的目的。這是一條充滿艱辛的道路，但也是一條必由之路。

　　用戶對半導體設備的要求是提高自動化，提高設備的精度，把半導體設備制造得更好更完善需要更高的技術及資金，兩方面缺一不可。秦建國表示，目前市場上半導體設備的競爭越演越烈，不斷投入人力、財力、物力去研發(fā)新產(chǎn)品會使制造企業(yè)不斷發(fā)展和壯大。國內(nèi)半導體設備生產(chǎn)企業(yè)應跟上市場的發(fā)展，不斷為市場提供高性能的設備，不斷研究半導體的發(fā)展方向，開發(fā)和研制新的設備，把企業(yè)制造的設備推向國際市場。

　　設備廠商必須具備工藝研究和實驗檢測的能力，而在國內(nèi)傳統(tǒng)的研發(fā)體系下，引進與消化吸收是不同的主體，是完全割裂的，設備研制者不關注工藝研究，缺少或不具備必要的實驗檢測環(huán)節(jié)。沈陽芯源微電子設備有限公司總經(jīng)理宗潤福表示，在這種情況下，國內(nèi)設備要進入大生產(chǎn)線還要假以時日。他說，很多人意識到國內(nèi)設備進入大生產(chǎn)線還需哪些努力時的第一反應可能是呼吁國家政策扶持、傾斜，用戶給機會。扶持傾斜也只能是針對首臺套，要批量生產(chǎn)并產(chǎn)業(yè)化必須具備市場競爭力。他主張循序漸進，技術跨度不能太大，穩(wěn)定壓倒一切。只有產(chǎn)品穩(wěn)定了，用戶才放心，對廠商才有信心，廠商才能有下一個機會、下一個訂單。

　　京運通副總經(jīng)理王軍強調(diào)說，國產(chǎn)半導體設備進入大生產(chǎn)線需要很長的一個過程。首先產(chǎn)品技術要升級，我國的半導體設備技術無論自動化程度、精細化程度還是節(jié)能水平,都還很落后;其次是產(chǎn)品定位要準確，要對適合大多數(shù)生產(chǎn)需要的產(chǎn)品進行定位;最后是整合制造設備新工藝，形成基本上自動化的制造工藝。當然，完善相關標準的工作也要跟進。

　　精彩觀點

　　張續(xù)業(yè):面對現(xiàn)狀從眼前做起

　　半導體設備的熱點當然是那些設備技術含量高、研發(fā)難度大、世界上做的企業(yè)少的設備。隨著時間的推移，熱點半導體設備已經(jīng)到了被國外公司獨家壟斷的地步。有些關鍵設備的技術水平，我國相關企業(yè)經(jīng)過幾十年的趕超，差距不是越來越小，反而是越拉越大，每年一屆的上海Semicon展覽會就很能說明問題。因此，個人認為，非?，F(xiàn)實地去講，要趕超國際水平，在高端產(chǎn)品方面幾乎不可能，中端產(chǎn)品上還要做相當?shù)呐?。話說回來，面對現(xiàn)狀，面對現(xiàn)實，踏踏實實做好目前能做到的事，才是唯物主義者，才能逐步提升能力、把握熱點。

　　秦建國:太陽能設備越來越熱

　　隨著能源的缺乏，太陽能光伏電池產(chǎn)業(yè)發(fā)展很快，為太陽能光伏電池產(chǎn)業(yè)做設備是這幾年的熱點，多晶硅加工設備，單晶硅制備、加工設備都發(fā)展得很快。2003年我國的多晶硅只有100噸的生產(chǎn)能力，2007年我國生產(chǎn)的多晶硅約2000噸，2010年將達到1萬噸以上，所有為該行業(yè)生產(chǎn)的設備都會越來越熱。企業(yè)應該把這些設備制造得越來越好，把握住太陽能光伏產(chǎn)業(yè)為國內(nèi)設備企業(yè)帶來的機遇。

　　宗潤福: 與其爭熱點不如抓冷門

　　我們國內(nèi)設備商還沒有進入主流市場，大行業(yè)的利好不一定能抓住機會，波動下跌也不會有致命影響。正規(guī)軍有正規(guī)軍的實力和難處，散兵游勇也有自己的生存空間。我倒認為，以我們目前的實力地位，與其爭熱點，不如抓冷門，走一條農(nóng)村包圍城市的道路。

　　王軍:自動化節(jié)能高效設備是熱點

　　目前，太陽能級硅單晶、硅多晶設備是市場的熱點。自動化、節(jié)能、高效的設備是行業(yè)關注的熱點。緊跟行業(yè)形勢，積極開發(fā)自動化、節(jié)能、高效的設備，提高產(chǎn)品技術含量，以滿足市場需求是我們的主要任務。我們深知這個行業(yè)的發(fā)展水平及產(chǎn)業(yè)規(guī)模正成為國際競爭的主要因素。為提高國產(chǎn)設備制造行業(yè)的配套能力進一步參與國際競爭，需要加大研發(fā)力度，盡快縮小與國外先進水平的差距。