Bosch選擇Lam Research的刻蝕系統(tǒng)用于MEMS制造

        全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)備供應(yīng)商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH選擇了其TCP 9400DsiE深硅刻蝕系統(tǒng)。Bosch是全球領(lǐng)先的MEMS傳感器制造商，特別專(zhuān)注于汽車(chē)傳感和消費(fèi)電子市場(chǎng)。