加拿大將向MEMS及三維封裝項目投入1.78億美元
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加拿大政府和加拿大魁北克省政府將向MEMS及三維層疊尖端封裝領(lǐng)域的研究投入總額為1億7800萬美元的資金。目的是通過MEMS技術(shù)以及晶圓級三維層疊封裝技術(shù),為硅元件帶來創(chuàng)新。
兩政府將向位于魁北克省布羅蒙特(Bromont)的希爾布魯克大學(xué)(University de Sherbrooke)補(bǔ)助1億7800萬美元,還將在該大學(xué)設(shè)立尖端微電子創(chuàng)新中心。加拿大政府和魁北克省政府將分別投入8300萬美元和9500萬美元。生產(chǎn)線將采用200mm晶圓。除了IBM Canada以外,參加該項目的還有從事MEMS代工業(yè)務(wù)的加拿大DALSA公司。
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