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光刻試驗樣機 文章 進入光刻試驗樣機技術社區(qū)

我科學家另辟蹊徑造出9納米光刻試驗樣機

  • 記者從武漢光電國家研究中心獲悉，該中心甘棕松團隊采用二束激光在自研的光刻膠上突破了光束衍射極限的限制，采用遠場光學的辦法，光刻出最小9納米線寬的線段，實現(xiàn)了從超分辨成像到超衍射極限光刻制造的重大創(chuàng)新。
  • 關鍵字： 光制造技術  9納米  光刻試驗樣機  
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光刻試驗樣機介紹

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