圓檢測 文章 進(jìn)入圓檢測技術(shù)社區(qū)
半導(dǎo)體制造晶圓檢測技術(shù)分析
- 中心議題: 晶圓自動(dòng)檢測方法 缺陷檢測管理的趨勢 在線監(jiān)測方法的技術(shù)優(yōu)勢 自從1980年代起,半導(dǎo)體制造業(yè)廣泛采用了晶圓自動(dòng)檢測方法在制造過程中檢測缺陷,以緩解工況偏差和減低總?cè)毕菝芏取1M管早期良率管理的重點(diǎn)
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圓檢測介紹
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