微導納米 文章 進入微導納米技術社區(qū)

微導納米獲先進半導體芯片ALD訂單

• 近日，《證券日報》記者獲悉，江蘇微導納米科技股份有限公司（以下簡稱微導）喜獲來自某先進半導體芯片制造企業(yè)的首個訂單，即將交付首臺用于先進技術節(jié)點的原子層沉積（ALD）量產設備。該產品聚焦全球IC制造市場，為邏輯、存儲等超大集成電路制造提供關鍵工藝技術和解決方案。尤其是在國內尖端半導體芯片制造方面，產品技術可覆蓋45納米到5納米以下技術節(jié)點所必需的高介電常數(shù)柵氧層ALD工藝需求，填補了該領域無國產設備的空白。2020年，作為國內尖端微納制造核心裝備企業(yè)，微導迎來了一個新的重要里程碑：再一次突破技術“無人區(qū)”
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