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氟橡膠密封的刻蝕機(jī)理和使用特性

  • 半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子加工對(duì)于氟橡膠真空密封是一個(gè)富有挑戰(zhàn)性的環(huán)境。在高溫和等離子條件下實(shí)現(xiàn)的密封能力...
  • 關(guān)鍵字： 氟橡膠  刻蝕  
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氟橡膠介紹

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