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基于自動調(diào)焦顯微視覺的MEMS運動測量技術
- 摘要：為了對徽機電系統(tǒng)(MEMS)的機械動態(tài)性能進行測試，結(jié)臺自動調(diào)焦、機器顯徽視覺和頻閃照明成像等多項技術...
- 關鍵字： MEMS器件 自動調(diào)焦系統(tǒng) 調(diào)焦范圍 亞像素 平面運動 顯微 精密工作臺 驅(qū)動信號 測量精度 測量周期
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測量周期介紹
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