電子束檢測 文章 進(jìn)入電子束檢測技術(shù)社區(qū)

應(yīng)用材料公司推出下一代電子束檢測設(shè)備 具有業(yè)內(nèi)最高的分辨率

• 　　應(yīng)用材料公司今天宣布其下一代電子束檢測系統(tǒng)已在多家領(lǐng)先的晶圓代工廠，以及邏輯芯片、DRAM和3D NAND工廠得到廣泛應(yīng)用。隨著客戶逐漸轉(zhuǎn)向更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點，這款新一代電子束檢測系統(tǒng)能夠為其提供最高的分辨率和圖像質(zhì)量，同時保持最快的檢測速度。 　　應(yīng)用材料公司新的 PROVision™系統(tǒng)是目前業(yè)界最先進(jìn)的電子束檢測工具，結(jié)合了應(yīng)用材料公司在電子束復(fù)查和測量領(lǐng)域長達(dá)20多年的領(lǐng)先經(jīng)驗和最新創(chuàng)新成果。作為唯一的電子束熱點檢測工具，該系統(tǒng)提供精確到1納米的分辨率，使客戶能夠準(zhǔn)確檢測出其他技術(shù)
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