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MEMS壓力傳感器及其應用

簡述MEMS壓力傳感器的結構與工作原理，并探討了其應用、壓力傳感器Die的設計及生產(chǎn)成本分析，覆蓋了從系統(tǒng)應用到銷售鏈。
關鍵字：華潤矽威集成電路 MEMS壓力傳感器惠斯頓電橋硅薄膜應力杯硅壓阻式壓力傳感器硅電容式壓力傳感器 200906

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硅壓阻式壓力傳感器介紹

壓阻式傳感器　　壓阻式傳感器　　piezoresistance type transducer 　　利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、應變、流量、真空度）的測量和控制（見加速度計）。　　 [ 查看詳細 ]

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