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隔空觸覺應(yīng)用看漲 imec開發(fā)微型超音波數(shù)組技術(shù)

• 比利時(shí)微電子研究中心（imec），于本周舉行的2022年IEEE國際超音波會(huì)議（International Ultrasonics Symposium），展示了新型壓電式微型超音波換能器（pMUT）數(shù)組，它能與平面顯示器（FPD）制程技術(shù)兼容。新型數(shù)組可以隔空感測(cè)高于1kPa的聲壓，滿足隔空觸覺與指向聲波應(yīng)用。 （A）包含22個(gè)直徑為500μm環(huán)形pMUT的相控?cái)?shù)組大范圍影像（B）細(xì)部影像此次開發(fā)的pMUT技術(shù)不再聚焦晶圓制程，而是朝向與平面顯示器技術(shù)兼容的方向發(fā)展，方便將來與隔空感測(cè)應(yīng)用整合，
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