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兼顧高生產(chǎn)率與高分辨率， 佳能發(fā)售FPD曝光設(shè)備新品“MPAsp-H1003H”

  • 佳能將于2022年7月下旬發(fā)售FPD（Flat Panel Display）曝光設(shè)備新品“MPAsp-H1003H”。作為支持第8代玻璃基板尺寸*1的FPD曝光設(shè)備新產(chǎn)品，“MPAsp-H1003H”擁有1.5μm*2（L/S*3）的分辨率和±0.35μm的套合精度。 FPD曝光設(shè)備“MPAsp-H1003H” 近年來，隨著遠(yuǎn)程辦公需求的激增與在線教育的迅速普及，筆記本電腦、平板電腦等IT設(shè)備所用顯示器的需求也在持續(xù)增長(zhǎng)。此外，由于電動(dòng)汽車的普及與自動(dòng)駕駛技術(shù)的不斷進(jìn)步，更輕薄、高清優(yōu)
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fpd曝光設(shè)備介紹

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