iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) 文章進(jìn)入iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)社區(qū)

半導(dǎo)體線寬檢測(cè)的首個(gè)ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布

近日，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）正式發(fā)布了微束分析領(lǐng)域中的一項(xiàng)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：“基于測(cè)長(zhǎng)掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評(píng)測(cè)方法”（Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)），該標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國(guó)家研究中心的丁澤軍團(tuán)隊(duì)主導(dǎo)制定，是半導(dǎo)體線寬測(cè)量方面的首個(gè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，也是半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域由中國(guó)主導(dǎo)制定的首個(gè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，
關(guān)鍵字：半導(dǎo)體 ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) 線寬檢測(cè)

中國(guó)科大主導(dǎo)制定半導(dǎo)體線寬檢測(cè)的首個(gè)ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

近日,國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)正式發(fā)布了微束分析領(lǐng)域中的一項(xiàng)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn):“基于測(cè)長(zhǎng)掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評(píng)測(cè)方法”(Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)),該標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國(guó)家研究中心的丁澤軍團(tuán)隊(duì)主導(dǎo)制定,是半導(dǎo)體線寬測(cè)量方面的首個(gè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),也是半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域由中國(guó)主導(dǎo)制定的首個(gè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),
關(guān)鍵字：半導(dǎo)體線寬檢測(cè) ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

共2條 1/1 1

iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)介紹

您好，目前還沒(méi)有人創(chuàng)建詞條iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對(duì)iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的理解，并與今后在此搜索iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的朋友們分享。創(chuàng)建詞條

iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) 文章 進(jìn)入iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)社區(qū)

半導(dǎo)體線寬檢測(cè)的首個(gè)ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布

中國(guó)科大主導(dǎo)制定半導(dǎo)體線寬檢測(cè)的首個(gè)ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)介紹

熱門主題

iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) 文章進(jìn)入iso國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)社區(qū)