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國內首臺高端LED刻蝕機交付使用

  •   近日,由北方微電子開發(fā)的ELEDETM330高密度等離子ICP刻蝕機完成組裝調試,正式交付客戶使用。ELEDETM330是北方微電子半導體刻蝕技術在LED領域的成功擴展,該設備的成功上線,標志著國產(chǎn)LED刻蝕設備已得到主流生產(chǎn)線的認可,使我國高端LED設備的國產(chǎn)化水平得到了新的提升。   北方微電子多年來一直致力于半導體高端工藝裝備的研發(fā)與制造。2009年北方微電子借助半導體刻蝕設備領域積累的豐富經(jīng)驗,開發(fā)了專為LED生產(chǎn)領域的刻蝕應用而全新設計的感應耦合高密度等離子體刻蝕機。作為我國首臺直接面向L
  • 關鍵字: 北方微電子  LED刻蝕機  
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led刻蝕機介紹

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