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上海微系統(tǒng)所聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，共同研發(fā)全球最小、成本最低MEMS壓力傳感器芯片

  • 近日，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室李昕欣老師課題組在 Journal of Micromechanics and Microengineering 期刊上發(fā)表最新的 MEMS 傳感器 研究成果——利用無(wú)疤痕微創(chuàng)手術(shù)（MIS）制造超小型 MEMS 壓力傳感器。
  • 關(guān)鍵字： 上海微系統(tǒng)所  MEMS壓力傳感器芯片  國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室  
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mems壓力傳感器芯片介紹

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