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薄晶圓系統(tǒng)提高批量制造超薄晶圓處理能力

　　基于極其成功的Galaxy印刷設(shè)備，得可已利用卓越的精準(zhǔn)技術(shù)開發(fā)了專門處理超薄晶圓的系統(tǒng)。新的Galaxy薄晶圓系統(tǒng)提供杰出的穩(wěn)定性、工藝能力提高到Cp>2@+/-12.5μm、并擁有先進(jìn)的速度和加速控制，確保強(qiáng)健地處理當(dāng)今易損的晶圓產(chǎn)品。　　Galaxy薄晶圓系統(tǒng)的杰出工藝能力核心是專業(yè)設(shè)計(jì)的晶圓托盤，提供輸送和加工75微米薄晶圓時(shí)正確固定晶圓所需的支撐和穩(wěn)定性。約400毫米見方的得可晶圓托盤，平整度小于10微米，且能容納300毫米大的晶圓。仔細(xì)的選擇和多孔材料的使用確保薄晶圓的安全
關(guān)鍵字： Galaxy 晶圓托盤

　　全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、驗(yàn)證和制造軟件及知識(shí)產(chǎn)權(quán)(IP)供應(yīng)商新思科技公司與中國(guó)內(nèi)地最大的芯片代工企業(yè)中芯國(guó)際集成電路制造有限公司日前宣布，將攜手推出全新的65納米R(shí)TL-to-GDSII參考設(shè)計(jì)流程4.0(Reference Flow 4.0)。作為新思科技專業(yè)化服務(wù)部與中芯國(guó)際共同開發(fā)的成果，該參考流程中增加了 Synopsys Eclypse™ 低功耗解決方案及IC Compiler Zroute布線技術(shù)，為設(shè)計(jì)人員解決更精細(xì)工藝節(jié)點(diǎn)中遇到的低功耗和可制造性設(shè)計(jì)(DFM)等問(wèn)題提供更多
關(guān)鍵字：中芯國(guó)際 65納米 Galaxy RTL-to-GDSII參考設(shè)計(jì)流程4.0

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