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EEPW首頁 >> 主題列表 >> mems傳感器

用可編程模擬電路實現(xiàn)MEMS陀螺儀測量系統(tǒng)

利用MEMS麥克風改善移動設備聲學性能

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mems傳感器介紹

MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術，并應用現(xiàn)代信息技術的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。 MEMS技術的發(fā)展開辟了一個全新的技術領域和產業(yè)，采用MEMS技術制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構件、微機械光 [ 查看詳細 ]

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