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EEPW首頁(yè) >> 主題列表 >> mems傳感器

傳感器接口標(biāo)準(zhǔn)最新進(jìn)展

空心軸不帶內(nèi)置軸承的角度編碼器

發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒過(guò)程監(jiān)測(cè)和氣缸蓋墊壓力傳感器

TMP05/06型溫度傳感器及其應(yīng)用

電容式液位變送器在合成高壓液位測(cè)控中的作用

非接觸位移測(cè)量的直線位移傳感器

光柵莫爾條紋技術(shù)的發(fā)展

一種硬件細(xì)分方法的研究與應(yīng)用

光纖傳感器的今日與發(fā)展

一種新型懸浮陀螺式質(zhì)量流量計(jì)的研究

傳感器技術(shù)在生產(chǎn)實(shí)踐中的應(yīng)用

基于DSP的陀螺加速度計(jì)數(shù)字伺服回路研究

氣體傳感器在氣體泄漏事故處置中的應(yīng)用

智能自動(dòng)化及其在儀器儀表中的應(yīng)用

傳感器在設(shè)施農(nóng)業(yè)中的應(yīng)用

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mems傳感器介紹

MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫(xiě)。MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的高科技前沿學(xué)科。 MEMS技術(shù)的發(fā)展開(kāi)辟了一個(gè)全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，采用MEMS技術(shù)制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構(gòu)件、微機(jī)械光 [ 查看詳細(xì) ]

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