mems壓力傳感器文章進(jìn)入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

I-Scan壓力量測(cè)系統(tǒng)在燃料電池組裝中應(yīng)用

美國(guó)Tekscan公司生產(chǎn)的I-Scan壓力量測(cè)系統(tǒng)是燃料電池研發(fā)和設(shè)計(jì)的一個(gè)重要工具。在燃料電池里面,許多極板...
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I-Scan壓力分布分析系統(tǒng)在化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）中的應(yīng)用

化學(xué)機(jī)械拋光需要一個(gè)完美的平滑面，否則隨后的加工過程將會(huì)受到不利影響，給您的企業(yè)造成損失！美國(guó)Tekscan公司...
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融合傳感器數(shù)據(jù)的駕駛輔助系統(tǒng)（DAS）

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高精度的溫度傳感電路設(shè)計(jì)

在大多數(shù)的工業(yè)用測(cè)量控制監(jiān)測(cè)體系中，溫度測(cè)量傳感電路的設(shè)計(jì)都是一個(gè)重要的組成部分。它廣泛應(yīng)用于很多特定...
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無線傳感器開發(fā)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及實(shí)現(xiàn)

設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了一種低功耗、通用性好的無線傳感器節(jié)點(diǎn)，重點(diǎn)介紹了開發(fā)板的軟、硬件設(shè)計(jì)，充分考慮了節(jié)能和擴(kuò)展性...
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MEMS壓力傳感器原理與應(yīng)用

MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機(jī)...
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模擬傳感器的抗干擾措施

模擬傳感器的應(yīng)用非常廣泛，不論是在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、國(guó)防建設(shè)，還是在日常生活、教育事業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域，處處可...
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從光學(xué)傳感器到電容傳感器——指紋采集技術(shù)的演進(jìn)

指紋傳感器（又稱指紋Sensor）是實(shí)現(xiàn)指紋自動(dòng)采集的關(guān)鍵器件。最早的指紋識(shí)別技術(shù)是以光學(xué)傳感器為基礎(chǔ)的光學(xué)識(shí)...
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TI 秤重天平/橋傳感器解決方案

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熒光化學(xué)傳感器的制備及其在環(huán)境分析監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用

前言：隨著熒光分析技術(shù)和傳感技術(shù)的發(fā)展,熒光化學(xué)傳感器已經(jīng)成為一種重要的連續(xù)分析測(cè)量裝置。它具有很高的...
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圖像傳感器

一、引言圖像傳感器是利用光電器件的光一電轉(zhuǎn)換功能，將其感光面上的光像轉(zhuǎn)換為與光像成相應(yīng)比例關(guān)系的電信...
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消除回音

隨著網(wǎng)絡(luò)的普及，視頻聊天和語音聊天逐漸成為我們和朋友溝通、交流的重要手段。不過，當(dāng)大家談興正濃的時(shí)候，如果...
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麥克風(fēng)的定位

對(duì)于佩戴助聽器的人來說,聲音是從助聽器的麥克風(fēng)收集來的.很明顯麥克風(fēng)的位置決定了進(jìn)入聲音的范圍,就和耳...
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適合水處理應(yīng)用的傳感器

水處理應(yīng)用對(duì)壓力和水位測(cè)量裝置具有極高的要求。對(duì)于此類應(yīng)用，堡盟提供適用于高振動(dòng)以及侵蝕性介質(zhì)的堅(jiān)固型...
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壓力傳感器的應(yīng)用--電壓力鍋的工作原理

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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì)，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢(shì)：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細(xì) ]

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