PBA校準(zhǔn)平臺(tái)應(yīng)用原理
PBA校準(zhǔn)平臺(tái)由于人工衍生出來(lái)的各種問(wèn)題應(yīng)運(yùn)而生,諸如高度要求的良率,生產(chǎn)速度的大幅提升,人員無(wú)法達(dá)成的精準(zhǔn)度等,對(duì)于未來(lái)這種高度自動(dòng)化程度的產(chǎn)業(yè)更是不可或缺的產(chǎn)品。
PBA校準(zhǔn)平臺(tái)可自由組合,整體采用模組化設(shè)計(jì),可輕松形成X、R 、XY、 XR、 XYR的1-3軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),由 PBA直線電機(jī)提供動(dòng)力,內(nèi)置精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
PBA校準(zhǔn)平臺(tái)模組具有高精度、高剛性、高分辨率、高響應(yīng)性等特點(diǎn)。平臺(tái)通過(guò)內(nèi)置高分辨率線性編碼器的直接驅(qū)動(dòng)方式的工作臺(tái)進(jìn)行全閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)高精度和高動(dòng)態(tài)響應(yīng)。
目前PBA校準(zhǔn)平臺(tái)的應(yīng)用主要在高速,高精度需求的產(chǎn)業(yè),例如半導(dǎo)體業(yè)的晶圓切割,封裝檢測(cè),激光打標(biāo)、點(diǎn)膠等行業(yè)。
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