中國(guó)ASML機(jī)臺(tái)裝機(jī)量已接近1400臺(tái)！

2023年11月5日-10日，第六屆中國(guó)國(guó)際進(jìn)口博覽會(huì)（以下簡(jiǎn)稱“進(jìn)博會(huì)”）將在上海全面線下舉辦。光刻設(shè)備領(lǐng)先供應(yīng)商阿斯麥（ASML）今年也將第五次參加進(jìn)博會(huì)，公司將以“光刻未來(lái)，攜手同行”為主題，亮相國(guó)家會(huì)展中心技術(shù)裝備展區(qū)集成電路專(zhuān)區(qū)，并首次以互動(dòng)視頻的形式帶領(lǐng)觀眾深度了解ASML包括光刻機(jī)臺(tái)、計(jì)算光刻以及光學(xué)和電子束量測(cè)在內(nèi)的全景光刻解決方案如何相互協(xié)作、支持客戶。

在正式參會(huì)前夕，ASML全球高級(jí)副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波就本屆參展計(jì)劃、在華業(yè)務(wù)發(fā)展情況及未來(lái)規(guī)劃等熱點(diǎn)話題和外界展開(kāi)交流。

△ASML全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波

“今年，我們深圳和武漢的研發(fā)團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)并發(fā)布了一款貼合中國(guó)客戶需求的新版本計(jì)算光刻產(chǎn)品，能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的良率。在此背景下，我們也希望通過(guò)進(jìn)博會(huì)這樣的平臺(tái)持續(xù)讓外界對(duì)ASML有更客觀、全面的認(rèn)識(shí)，ASML始終積極響應(yīng)中國(guó)集成電路行業(yè)的發(fā)展需求，為客戶提供全景光刻解決方案，這其中不僅包括大家熟知的光刻機(jī)臺(tái)，還有計(jì)算光刻、以及光學(xué)和電子束量測(cè)，從而幫助客戶經(jīng)濟(jì)高效地提升良品率和生產(chǎn)效率?！鄙虿ń障蛎襟w介紹。

ASML持續(xù)擴(kuò)大在中國(guó)的研發(fā)投入

自1988年向中國(guó)交付了首臺(tái)步進(jìn)式光刻機(jī)之后，ASML公司已經(jīng)在中國(guó)市場(chǎng)深耕30余年，參與支持了中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，提供全包括光刻機(jī)臺(tái)、計(jì)算光刻、以及光學(xué)和電子束量測(cè)的全景光刻解決方案，從而幫助客戶提高效率并降低成本。

目前，ASML在中國(guó)設(shè)有16個(gè)辦事處、12個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)物流中心、3個(gè)開(kāi)發(fā)中心、1個(gè)培訓(xùn)中心以及1個(gè)維修中心。ASML在中國(guó)大陸的員工總?cè)藬?shù)已經(jīng)超過(guò)1600人。

據(jù)了解，2004年，ASML在深圳建立首個(gè)計(jì)算光刻開(kāi)發(fā)中心。經(jīng)過(guò)近20年的人才積累，該中心已成為ASML在全亞洲最大的專(zhuān)業(yè)軟件開(kāi)發(fā)中心。目前，ASML在國(guó)內(nèi)有深圳和武漢兩個(gè)計(jì)算光刻開(kāi)發(fā)中心。

“計(jì)算光刻主要應(yīng)用于芯片的開(kāi)發(fā)與制造環(huán)節(jié)，實(shí)際是通過(guò)大量的數(shù)學(xué)和物理模型的建立來(lái)幫助客戶在芯片開(kāi)發(fā)和制造時(shí)設(shè)計(jì)出一個(gè)模板——用專(zhuān)業(yè)的詞來(lái)說(shuō)叫‘光罩’（又叫‘掩模版’）；光刻機(jī)是把這個(gè)光罩上面客戶設(shè)計(jì)的圖案投影到晶圓上面，然后晶圓通過(guò)光刻膠的顯影后續(xù)的工序把它呈現(xiàn)出來(lái)?！鄙虿ńo出相關(guān)定義時(shí)說(shuō)。

ASML“鐵三角”全景光刻解決方案中的另一環(huán)是量測(cè)，其是曝光后晶圓成像檢查和反饋的環(huán)節(jié)，幫助進(jìn)一步優(yōu)化模型。量測(cè)分還為光學(xué)和電子束兩種，其中，ASML電子束量測(cè)在北京設(shè)有開(kāi)發(fā)中心，是ASML電子束量測(cè)的全球四大開(kāi)發(fā)中心之一，專(zhuān)門(mén)從事電子束系統(tǒng)關(guān)鍵組件的開(kāi)發(fā)。

“ASML的服務(wù)不光是對(duì)故障維修和讓設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)，很重要的一個(gè)附加值在于ASML團(tuán)隊(duì)能夠配合客戶的工藝做調(diào)整、優(yōu)化，幫助客戶實(shí)現(xiàn)其工藝要求，從而使客戶能夠在制造芯片過(guò)程中獲得更好的良率和生產(chǎn)效率，更順暢地把工藝窗口做好；這是我們圍繞‘成像環(huán)節(jié)’做的一些事情，其中需要的不僅僅是光刻機(jī)，我們的計(jì)算光刻軟件和量測(cè)系統(tǒng)一起構(gòu)成了緊密協(xié)作的三角形?！鄙虿ㄔ诮涣鲿?huì)上談到。

ASML在中國(guó)的機(jī)臺(tái)裝機(jī)量接近1400臺(tái)

根據(jù)ASML的財(cái)報(bào)顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷(xiāo)售額達(dá)203.21億歐元，而中國(guó)區(qū)同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。其中，ASML三季度來(lái)自中國(guó)大陸的銷(xiāo)售收入占比由二季度的24%（銷(xiāo)售額約為13.45億歐元），幾乎翻倍增長(zhǎng)到了46%（銷(xiāo)售額約為24.42億歐元），要知道今年一季度中國(guó)大陸的銷(xiāo)售收入占比僅8%。這也進(jìn)一步凸顯了中國(guó)大陸市場(chǎng)對(duì)于ASML光刻系統(tǒng)旺盛的需求，以及ASML對(duì)中國(guó)大陸市場(chǎng)交付的快速增長(zhǎng)。

對(duì)于中國(guó)大陸市場(chǎng)增長(zhǎng)情況，沈波解釋稱，過(guò)去兩年，受產(chǎn)能制約等因素影響，ASML對(duì)全球客戶交付率基本維持50%左右。今年中國(guó)大陸市場(chǎng)交付相對(duì)較多，主要因?yàn)橐恍┊a(chǎn)能越大的全球客戶對(duì)行業(yè)波動(dòng)會(huì)越敏感，當(dāng)行業(yè)景氣度下滑時(shí)，這些客戶會(huì)選擇放緩產(chǎn)能建設(shè)和設(shè)備采購(gòu)進(jìn)度。而中國(guó)大陸的客戶目前仍處于產(chǎn)能建設(shè)階段，有些客戶甚至剛起步，尤其在成熟制程這塊需求非常旺盛，所以對(duì)行業(yè)波動(dòng)相對(duì)不那么敏感。

“即便面對(duì)行業(yè)波動(dòng)，中國(guó)大陸客戶對(duì)我們的需求仍是將前兩年訂的貨盡快交付，而其他客戶的需求時(shí)間節(jié)點(diǎn)發(fā)生了變化。所以，最后大家看到的結(jié)果是中國(guó)大陸市場(chǎng)所占的份額相對(duì)出現(xiàn)上升。”沈波說(shuō)道。

沈波還特別指出，“現(xiàn)在網(wǎng)上有各種各樣的關(guān)于我們的消息，說(shuō)我們不賣(mài)機(jī)器到中國(guó)，這種很吸引眼球的傳聞。然而，實(shí)際上我們從1988年首臺(tái)機(jī)器運(yùn)到中國(guó)，到2023年底，ASML在中國(guó)的光刻機(jī)加上量測(cè)的機(jī)臺(tái)裝機(jī)量接近1400臺(tái)。所以，實(shí)際上我們這些年在中國(guó)的成長(zhǎng)幅度還是非?？捎^的。我們一直在不停地投入做這件事情?！?/p>

光刻設(shè)備供不應(yīng)求，ASML正努力提升供應(yīng)能力

作為全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的創(chuàng)新領(lǐng)導(dǎo)者，1984年成立的ASML公司，提供涵蓋硬件、軟件和服務(wù)在內(nèi)的全景光刻解決方案，幫助芯片制造商在硅晶圓上批量“刻”制圖形。目前，ASML是全球最大的光刻機(jī)制造商，通也是全球唯一的極紫外光（EUV）的光刻機(jī)制造商。

“我們的光刻機(jī)每小時(shí)能處理多達(dá)300余片晶圓，每一片晶圓可能在光刻機(jī)中曝光時(shí)間只有十幾秒。這十幾秒，機(jī)器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圓上，根據(jù)產(chǎn)品種類(lèi)和設(shè)計(jì)的差異需要產(chǎn)生100束光左右，每一束光都會(huì)有區(qū)別，并且在實(shí)時(shí)調(diào)整。這個(gè)過(guò)程非常復(fù)雜、非常精細(xì)?！鄙虿ū硎?，光刻環(huán)節(jié)，處于上千道工序里面最核心的位置。量產(chǎn)芯片廠，產(chǎn)品良率基本上在90%以上。這一千多道工序，每一道工序的誤差、偏差都需要控制得非常精確。任何一道工序有問(wèn)題，芯片最后出來(lái)就可能不是一個(gè)合格的產(chǎn)品，這對(duì)芯片廠而言是巨大的成本。

根據(jù)ASML于今年10月18日公布的最新財(cái)報(bào)顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷(xiāo)售額達(dá)203.21億歐元，而中國(guó)區(qū)同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。ASML預(yù)計(jì)，2023年第四季度的凈銷(xiāo)售額在67億-71億歐元之間，毛利率在50%-51%之間。

對(duì)于ASML來(lái)說(shuō)，截止今年三季度，公司仍有超過(guò)350億歐元的未交付訂單。如何突破產(chǎn)能瓶頸以應(yīng)對(duì)市場(chǎng)需求增長(zhǎng)仍是ASML需要解決的問(wèn)題。

“總體來(lái)講，到目前為止，我們還屬于有一點(diǎn)產(chǎn)能不足的狀態(tài)。對(duì)市場(chǎng)的需求來(lái)說(shuō)。盡管現(xiàn)在全球行業(yè)整體處在周期谷底，但ASML目前在手還沒(méi)執(zhí)行的訂單有350億歐元?？傮w上（光刻設(shè)備）還是供不應(yīng)求。”沈波表示，2023年ASML公司銷(xiāo)售額相比2022年（212億歐元）將增長(zhǎng)30%，預(yù)計(jì)達(dá)270億歐元以上。

展望行業(yè)趨勢(shì)，沈波認(rèn)為，當(dāng)前存儲(chǔ)芯片庫(kù)存在進(jìn)一步降低，同時(shí)價(jià)格出現(xiàn)些許回升；邏輯芯片廠設(shè)備的使用率慢慢地往回升，行業(yè)整體正觸底回升，明后年則有望企穩(wěn)；行業(yè)存在周期起伏，但長(zhǎng)期上升態(tài)勢(shì)未變。

“預(yù)計(jì)到2025年，行業(yè)回暖將使現(xiàn)有產(chǎn)能開(kāi)滿并需要新產(chǎn)能，同時(shí)，全球各地，包括在中國(guó)、美國(guó)、歐洲、日韓等會(huì)有新的芯片廠在2025年投入運(yùn)行，兩個(gè)因素疊加，屆時(shí)會(huì)帶來(lái)一波半導(dǎo)體設(shè)備的需求。”沈波指出。

對(duì)此ASML此前也已經(jīng)公布了長(zhǎng)期的產(chǎn)能規(guī)劃，目標(biāo)是在2030年代中期做到全球每年交付600臺(tái)DUV機(jī)器。沈波解釋稱：“過(guò)去很多年，我們每年是全球交付200臺(tái)機(jī)器左右，到今年應(yīng)能提升到300多臺(tái)的產(chǎn)能，但缺口仍比較大。近年來(lái)，我們積極和供應(yīng)商溝通，以期在配合和協(xié)作下，確保順利地響應(yīng)、滿足2025年的產(chǎn)能爬升。如果各方面都配合得符合預(yù)期，我們會(huì)在2025年底或者2026年初具備500到600臺(tái)DUV之間的全球年供應(yīng)產(chǎn)能?！?/p>

中國(guó)大陸業(yè)務(wù)明年或受10-15%影響

今年以來(lái)，隨著相關(guān)國(guó)家半導(dǎo)體出口管制政策接連出臺(tái)，業(yè)內(nèi)對(duì)地緣政治的影響更為擔(dān)憂。今年9月，荷蘭最新芯片出口管制措施生效。根據(jù)ASML此前回應(yīng)，自2024年1月1日起，ASML將基本不會(huì)獲得向中國(guó)客戶發(fā)運(yùn)TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)的出口許可證。而在此之前，ASML的EUV光刻系統(tǒng)已受到出口限制。

今年10月17日，美國(guó)商務(wù)部工業(yè)與安全局（BIS）也發(fā)布多項(xiàng)規(guī)則，更新并擴(kuò)大了2022年10月7日發(fā)布的對(duì)先進(jìn)半導(dǎo)體及其制造設(shè)備實(shí)施的一系列嚴(yán)格的出口管制措施等。

ASML回應(yīng)稱，“根據(jù)目前收到的信息，我們認(rèn)為適用該新規(guī)的涉及先進(jìn)芯片制造的中國(guó)晶圓廠數(shù)量有限……ASML將向美國(guó)政府進(jìn)一步澄清這些新規(guī)的適用范圍。ASML持續(xù)致力于遵守經(jīng)營(yíng)所在國(guó)家/地區(qū)所有適用的法律和法規(guī)，包括出口管制法規(guī)?！?/p>

在三季度財(cái)報(bào)會(huì)議上，ASML CEO Peter Wennink進(jìn)一步解釋稱，“1980Di原則上將受出口管制限制，但僅當(dāng)用于先進(jìn)半導(dǎo)體制造時(shí)，僅適用于少數(shù)應(yīng)用。這意味著1980Di僅對(duì)少數(shù)晶圓廠禁止出口，但可向絕大多數(shù)應(yīng)用于次關(guān)鍵和成熟制程的中國(guó)大陸客戶直接出口，無(wú)需許可?！?/p>

那么，美國(guó)的新規(guī)對(duì)于ASML中國(guó)業(yè)務(wù)具體會(huì)有多大影響呢？

沈波坦言，“現(xiàn)在對(duì)于新的出口管制政策，我們還在研究中?？傮w來(lái)看，如果以今年我們?cè)谥袊?guó)的業(yè)務(wù)為基礎(chǔ)，明年的業(yè)務(wù)大概會(huì)受到10%-15%的影響。中國(guó)明年的市場(chǎng)需求還是蠻旺盛的。短期內(nèi)我們感覺(jué)應(yīng)該對(duì)總體業(yè)務(wù)量不會(huì)有太大影響。從公司角度，到2030年，行業(yè)整體趨勢(shì)一直起伏性增長(zhǎng)，所以對(duì)公司銷(xiāo)售的總體趨勢(shì)不會(huì)有太大的改變?！?/p>

“我們只有部分浸潤(rùn)式產(chǎn)品明年會(huì)被放到出口管制的范圍，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我們還有非常大的一塊浸潤(rùn)式的業(yè)務(wù)在中國(guó)?！鄙虿ㄑa(bǔ)充稱。

在沈波看來(lái)，芯片制造需要一千多道工序，每道工序都集中了全球在該領(lǐng)域最好的公司和人才，才能保證把事情做好；在歷史發(fā)展進(jìn)程中，半導(dǎo)體也一直是需要全球高度合作的產(chǎn)業(yè)，但近年來(lái)不光是ASML，整個(gè)行業(yè)發(fā)展都受到了很多地緣政治方面的影響。如何去應(yīng)對(duì)這種變化？沈波表示，“對(duì)ASML而言，只要在合法合規(guī)的框架下，我們一定會(huì)盡最大的努力去支持所有的客戶?！?/p>

“在我們看來(lái)，先進(jìn)制程芯片從數(shù)量上講是相對(duì)較小的，絕大多數(shù)是成熟制程芯片。我覺(jué)得，對(duì)于中國(guó)來(lái)講，這么大終端市場(chǎng)需求推動(dòng)下，把成熟制程芯片做到非常具有競(jìng)爭(zhēng)力的水平，對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)來(lái)講是最高效的，可以達(dá)到一個(gè)事半功倍的效果，有助于提高投入產(chǎn)出比?！鄙虿ㄕf(shuō)道。

編輯：芯智訊-浪客劍 來(lái)源：綜合自鈦媒體、證券時(shí)報(bào)等