EDWARDS發(fā)布IXL120 面向真空半導(dǎo)體工藝應(yīng)用

　　全球領(lǐng)先的真空設(shè)備供應(yīng)商Edwards近日發(fā)布iXL120設(shè)備，拓展了其面向半導(dǎo)體制造工藝的干泵設(shè)備產(chǎn)品。iXL120具有專為負(fù)載時(shí)鐘和其他清洗應(yīng)用的設(shè)計(jì)，在同等產(chǎn)品中可達(dá)到最快速的抽取速度，同時(shí)還具有低能耗、高吞吐量的特點(diǎn)，降低擁有者成本。