寬帶深紫外光明場系統(tǒng)縮短學(xué)習(xí)周期

加利福尼亞州圣荷塞，2006 年 6 月 13 日訊 — KLA-Tencor （NASDAQ： KLAC）今天宣布，由 Freescale Semiconductor、STMicroelectronics 和 Philips Semiconductors 三家半導(dǎo)體生產(chǎn)商組成的 300 毫米生產(chǎn)和研發(fā)協(xié)作約聯(lián)盟 Crolles2 Alliance 已采用新型 2800 寬帶 DUV 明場系統(tǒng)，這是對 KLA-Tencor 擁有的獨(dú)特檢測能力的認(rèn)可。  Crolles2 在其 65 納米研發(fā)和 90 納米生產(chǎn)合作中采用 2800，可檢測到影響成品率的關(guān)鍵性缺陷，而采用上一代的檢測工具是無法做到這一點(diǎn)的。 

“我們對 Crolles2 Alliance 和 KLA-Tencor 之間的成功合作感到非常滿意。  “通過在開發(fā)期間及早地采用此工具，我們已將缺陷學(xué)習(xí)周期縮短達(dá) 6 個月，同時，我們每個月都能在 90 納米和 65 納米技術(shù)中不斷發(fā)現(xiàn)該工具的獨(dú)特應(yīng)用。”Crolles2 Alliance 的代工廠廠長主管 Joel Hartmann 指出，  “鑒于我們與 KLA-Tencor 之間的成功合作關(guān)系，并且為了滿足代工廠的良成品率成熟要求，我們決定另外再安裝 2800 檢測系統(tǒng)?！?

作為市場上唯一的寬帶 DUV/UV/可見光圖形晶片檢測工具，2800 可在所有工藝層上廣泛地捕獲所有類型的缺陷。  2800 延續(xù)了 23xx 系列 UV/可見光明場平臺的成功，能無縫地集成到研發(fā)線和生產(chǎn)代工廠中。  自 2005 年 7 月推出以來，2800 已在全球領(lǐng)先的邏輯器件、存儲器件及代工工廠中陸續(xù)安裝使用，其中在部分代工廠中安裝了多部套產(chǎn)品。

KLA-Tencor 公司簡介：KLA-Tencor 是全球領(lǐng)先的為半導(dǎo)體制造和相關(guān)行業(yè)提供產(chǎn)出管理以及工藝控制解決方案的供應(yīng)商。公司總部設(shè)在美國加利福尼亞州圣何塞，在世界各地設(shè)有銷售和服務(wù)機(jī)構(gòu)。作為 S&P 500 強(qiáng)企業(yè)之一，KLA-Tencor 公司在Nasdaq 上市交易，交易代碼 KLAC。  欲了解該公司更多信息，請訪問： http://www.kla-tencor.com。