介觀壓阻型微壓力傳感器設(shè)計
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經(jīng)過分析，綜合考慮設(shè)計的要求，初步設(shè)定：h=20μm，R=200μm。其固有頻率可以按下式計算：本文引用地址：http://butianyuan.cn/article/188671.htm
4 傳感器的性能分析與計算
使用介觀壓阻效應(yīng)原理代替壓阻原理來檢測壓力，將圓膜片上的的壓敏電阻換成GaAs／A1As／InGaAs DBRT結(jié)構(gòu)薄膜。用傳遞矩陣法計算該薄膜在沿生長方向的應(yīng)力變化下的輸出響應(yīng)，通過整個結(jié)構(gòu)的隧穿電流密度可表示為：
式中：e為電子電荷的大小，m*為GoAs電子的有效質(zhì)量，kB為玻爾茲曼常數(shù)，T為絕對溫度，EF為費米能級，E1為入射電子垂直(縱向)能量。
利用公式可計算出不同拉伸應(yīng)變下隧穿電流隨偏壓的變化，如圖4所示。圖中實線、虛線分別表示0和5％的拉伸應(yīng)變。計算偏壓分別為0．75 V和1.2 V時的壓阻系數(shù)為：
偏壓為1.2V時的壓阻系數(shù)為：
傳感器的輸出為：
設(shè)偏壓為0．75 V設(shè)偏壓為0．75 V，電橋的激勵電壓為2．5 V的情況下，該傳感器的靈敏度S為：
5 結(jié)語
該結(jié)構(gòu)的壓力微傳感器由于敏感元件與變換元件一體化，尺寸小，其固有頻率很高，可以測量頻率范圍很寬的脈動壓力。在不同的偏壓下，該傳感器的靈敏度不同。說明靈敏度可調(diào)節(jié)。同樣結(jié)構(gòu)的微壓力傳感器，如果敏感元件是硅或銅鎳合金壓敏電阻，其靈敏度分別為0．38x104V／m和O．17×104V／m?？梢姴捎霉舱袼泶┒O管做為敏感元件的微壓力傳感器其靈敏度較之傳統(tǒng)的傳感器得到了很大的提高。
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