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基于DSP的數(shù)字掃描探針顯微鏡的硬件解決方案研究

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作者:華中師范大學(xué) 李小飛 楊特育 李亞蘭,李超純 時(shí)間:2007-01-05 來源:電子元器件應(yīng)用 收藏
探針(scanning probe microscope,SPM)是研究納米的重要工具,它利用探針和樣品的不同互相作用來探測(cè)表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì),它的問世對(duì)表面科學(xué)、物理學(xué)、微電子學(xué)、電子材料學(xué)、先進(jìn)材料和納米材料等研究領(lǐng)域技術(shù)重要的意義,與此同時(shí),數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)已經(jīng)發(fā)展得相當(dāng)成熟,技術(shù)也已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于通信、測(cè)量、多媒體、消費(fèi)電子產(chǎn)品等領(lǐng)域,由于把和SPM結(jié)合在一起是SPM儀器發(fā)展的必然方向,它能使SPM性能更趨于完善,為此,本文介紹如何用TMS320C5416來實(shí)現(xiàn)這一設(shè)想!

SPM系統(tǒng)方案及其缺陷

現(xiàn)有的SPM系統(tǒng)主要基于PCI形式,該方案中,計(jì)算機(jī)通過PCI卡和SPM控制板保持通信,整個(gè)電子控制系統(tǒng)的流程圖如圖1所示。

   整個(gè)電子控制系統(tǒng)的流程圖

此系統(tǒng)由掃描器、電子控制板和控制處理軟件三部分組成,其中掃描器是執(zhí)行部分,它通過步進(jìn)馬達(dá)和壓電陶瓷管的三維伸縮來實(shí)現(xiàn)掃描探針對(duì)樣品表面的掃描;控制處理軟件是中央控制部分,通過控制軟件可設(shè)置掃描參數(shù)、對(duì)掃描過程實(shí)行實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)和監(jiān)控(再線掃描控制)以及對(duì)掃描圖像進(jìn)行分析

處理(離線數(shù)據(jù)分析),電子控制板則是連接控制軟件和掃描器的中間部分,擔(dān)負(fù)著在掃描過程中的將控制軟件下達(dá)的指令時(shí)實(shí)的轉(zhuǎn)化為對(duì)掃描器的具體操作任務(wù),因此,電子控制系統(tǒng)的精確程度和對(duì)指令的反應(yīng)速度直接影響著成像的效果,設(shè)計(jì)好的電子控制系統(tǒng)對(duì)整個(gè)STM來說至關(guān)重要。

雖然基于PCI形式的系統(tǒng)在一般控制、傳輸速度及成像效果上都能達(dá)到基本要求,但作為精密儀器,其效果還遠(yuǎn)不夠,主要缺點(diǎn)如下:

(1)PC機(jī)的開關(guān)電源對(duì)高精度的A/D,D/A芯片干擾太大。

(2)PCI卡每次只能對(duì)一路信號(hào)尋址,系統(tǒng)的實(shí)時(shí)性較低。

(3)由于需要較大的計(jì)算資源開銷并要運(yùn)行一個(gè)復(fù)雜的非線性校正算法,該控制板需要一個(gè)處理能力強(qiáng)的處理器。

(4)存儲(chǔ)器及握手方式不夠理想。

系統(tǒng)設(shè)計(jì)思想

為了解決上述缺點(diǎn),筆者給出了一種基于的新型數(shù)字式SPM系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案,新方案的系統(tǒng)框圖如圖2所示。

   新方案的系統(tǒng)框圖

該方案和圖1的明顯區(qū)別的是,圖2方案在SPM控制板上添加了一塊DSP芯片,SPM控制板和計(jì)算機(jī)信息交換將先通過DSP作相應(yīng)處理,然后再送至對(duì)方,DSP和計(jì)算機(jī)的通信采用全雙工RS-232串口通信方式。

DSP控制板的結(jié)構(gòu)和功能

經(jīng)過對(duì)SPM儀器的控制流程、時(shí)序要求、掃描方式、反饋模型和實(shí)時(shí)性進(jìn)行全面分析,并對(duì)幾種DSP芯片的性能的比較,本設(shè)計(jì)決定采用TI公司的54X系列DSP芯片,該系統(tǒng)的DSP的運(yùn)算處理速度、處理精度、功耗都能滿足SPM應(yīng)用系統(tǒng)的反饋要求。

TMS320VC5416是TI公司的16位定點(diǎn)DSP,其時(shí)鐘頻率為160MHz,能夠?qū)崿F(xiàn)高速運(yùn)算(160MIPS)和大容量存儲(chǔ),片上有128



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