儀器測量中靈敏度/分辨率的挑戰(zhàn)

　　儀器的用戶友好性具有重要意義，無論對研究者還是那些選取新的發(fā)現(xiàn)并將其轉(zhuǎn)化為實際產(chǎn)品的設(shè)計工程師和制造專業(yè)人員來說，都是如此。最新型的電氣測量系統(tǒng)應(yīng)當基于PC，支持人們熟知的Windows操作系統(tǒng)所特有的點－擊、剪切－粘貼和拖－放功能。這些系統(tǒng)功能可以縮短學習曲線，從而讓測試的建立、執(zhí)行和分析在時間上更富有效率。

　　第三個測試方面的挑戰(zhàn)是靈敏度和分辨率。儀器的靈敏度一般是由其最低的測量范圍除以分辨率來量度的。分辨率是可以觀察到的信號的最小比例。圖1所示的曲線證明了這一指標的重要意義，圖中示出了納米級金屬－氧化物半導體場效應(yīng)晶體管（MOSFET）的柵極漏電流的測量結(jié)果。所測量到的電流的范圍從30fA變化到約170fA。這一測量需要的電流靈敏100aA（100E－18A）。無論何種情況，所要求的靈敏度都取決于應(yīng)用。

圖1：納米MOSFET的柵極漏電流范圍是30fA至約170fA