小電流測(cè)量漏流和保護(hù)II

保護(hù)亦可用于減小電纜連接中的漏流。圖12所示為驅(qū)動(dòng)保護(hù)防止電纜的漏泄電阻影響小電流測(cè)量的原理.在無(wú)保護(hù)的配置中，同軸電纜的漏阻與DUT并聯(lián)(RDUT)，產(chǎn)生不希望的漏流(IL)。該漏流將影響極小電流的測(cè)量。
在保護(hù)電路中，三軸電纜的內(nèi)芯屏蔽被連接至SMU的保護(hù)端子?，F(xiàn)在，該屏蔽由一個(gè)單位增益低阻放大器(保護(hù))驅(qū)動(dòng)。Force HI端子和保護(hù)端子之間的電勢(shì)差接近0V，所以漏流(IL)可忽略不計(jì)。


圖12.利用保護(hù)減小電纜連接中的漏流
為了查看測(cè)量極高電阻時(shí)三軸電纜和同軸電纜的結(jié)果，圖13中繪出了采用10V階躍函數(shù)測(cè)量100GΩ電阻的測(cè)量電流和時(shí)間的關(guān)系圖。三軸電纜通過(guò)使用保護(hù)，以兩種方式改善了測(cè)量：1)它減小了有效電纜電容，從而降低了測(cè)量的RC時(shí)間常數(shù)或建立時(shí)間；2)防止電纜中的漏流對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度造成不利影響。


圖13.使用同軸電纜和三軸電纜測(cè)量高阻的結(jié)果比較
從圖13可知，利用帶有保護(hù)的三軸電纜進(jìn)行測(cè)量，漏流較小(低幾個(gè)pA)，建立時(shí)間更短(大約快10倍)。如果SMU必須連接至采用BNC連接器的測(cè)試夾具，請(qǐng)?jiān)赟MU和測(cè)試夾具之間使用吉時(shí)利三軸電纜，然后再將BNC連接至三軸適配器(去掉了保護(hù))，從而將電纜連接至測(cè)試夾具。