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矢量網(wǎng)絡(luò)分析的校準(zhǔn):SOLT、TRL與Ecal

作者: 時(shí)間:2017-01-05 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
與以往的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 (VNA)相比,現(xiàn)在的許多儀器提供了更多的校準(zhǔn)方法供用戶選擇。更多的選擇固然好,但同時(shí)也帶來了更多的混亂。幸運(yùn)的是,一些關(guān)鍵的比較點(diǎn)可以快速縮小選擇范圍,并確定最適當(dāng)?shù)男?zhǔn)技術(shù)。本文將討論常用的網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)技術(shù)及其相對(duì)精度,重點(diǎn)是可靠的測(cè)量實(shí)踐和其他能夠改善精度的因素。

  校準(zhǔn)類型

  現(xiàn)在的網(wǎng)絡(luò)分析儀都具有極強(qiáng)的處理能力和靈活性,針對(duì)特定應(yīng)用的許多校準(zhǔn)方法也隨之涌現(xiàn)出來。例如,針對(duì)特定應(yīng)用的校準(zhǔn)類型有混頻器/變頻器校準(zhǔn)(用于頻率偏置器件)、噪聲系數(shù)校準(zhǔn)和夾具內(nèi)測(cè)量等。下面以全面的1端口和2端口矢量校準(zhǔn)為討論的重點(diǎn),并回顧網(wǎng)絡(luò)分析儀中針對(duì)所有誤差源的矢量校準(zhǔn)方法。這些方法與那些不考慮所有誤差項(xiàng)的方法(例如響應(yīng)校準(zhǔn))相比,精確度要高得多。討論校準(zhǔn)精度時(shí),將討論范圍限定為一些常用的校準(zhǔn)類型,大多數(shù)現(xiàn)代校準(zhǔn)方法來源于這些常用的校準(zhǔn)類型。常用的校準(zhǔn)技術(shù)有三種:SOLT(短路-開路-負(fù)載-直通)、TRL(直通-反射-線路)和ECal(電子校準(zhǔn))模塊。在每一種校準(zhǔn)技術(shù)中,通常又針對(duì)特定的測(cè)量要求(如寬帶頻率或晶圓上探測(cè))分成不同的校準(zhǔn)方法。表1中總結(jié)了這些常用的校準(zhǔn)技術(shù)及其各自的主要優(yōu)勢(shì)。

本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/201701/336206.htm

  網(wǎng)絡(luò)分析儀中的系統(tǒng)誤差


  圖1總結(jié)了典型網(wǎng)絡(luò)分析儀中的系統(tǒng)誤差來源。相位測(cè)量功能使得VNA能夠精確地計(jì)算所有的誤差來源。方向誤差會(huì)影響反射測(cè)量的精度。隔離誤差會(huì)影響發(fā)射測(cè)量的精度。源和負(fù)載誤差與被測(cè)件和分析儀測(cè)量端口阻抗之間的失配有關(guān)。反射和發(fā)射跟蹤誤差與分析儀的參考接收機(jī)和測(cè)量接收機(jī)的頻率響應(yīng)差異有關(guān)。

  探究SOLT校準(zhǔn)

  大多數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀用戶最先熟悉的校準(zhǔn)方法是SOLT。SOLT校準(zhǔn)能夠提供優(yōu)異的精度和可重復(fù)性。這種校準(zhǔn)方法要求使用短路、開路和負(fù)載標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件。如果被測(cè)件上有雌雄連接器,還需要分別為雌雄連接提供對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)件,連接兩個(gè)測(cè)量平面,形成直通連接。

  SOLT校準(zhǔn)方法使用12項(xiàng)誤差修正模型,其中被測(cè)件的正向有6項(xiàng),反向有6項(xiàng)。圖2顯示了正向誤差項(xiàng):ED(方向)、ES(源匹配)、EL(負(fù)載匹配)、ERF(反射跟蹤)、ETF(發(fā)射跟蹤)和EX(串?dāng)_)。操作正確的話,SOLT可以測(cè)量百分之一分貝數(shù)量級(jí)的功率和毫度級(jí)相位。常用的校準(zhǔn)套件中都包含SOLT標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件。這些校準(zhǔn)件包括各種連接器類型,并且價(jià)格相對(duì)便宜,小心使用的話可以用很多年。


  有的SOLT校準(zhǔn)套件包含滑動(dòng)負(fù)載,因此可改變路徑的線路長(zhǎng)度,同時(shí)保持恒定的負(fù)載阻抗(通常為50Ω或75Ω)?;瑒?dòng)負(fù)載在高頻時(shí)尤為重要,因?yàn)樵谶@種情況下很難實(shí)施良好的固定負(fù)載。線路長(zhǎng)度的變化會(huì)直接成比例地改變電長(zhǎng)度,導(dǎo)致測(cè)量路徑中發(fā)生相移。通過在校準(zhǔn)過程中使用幾種不同長(zhǎng)度的線路和相應(yīng)的相移,可以更精確地測(cè)量網(wǎng)絡(luò)分析儀的方向性(圖3)。


  雙向直通SOL通常稱為“未知直通”。這種方法允許在遵守一些基本原則的條件下,在校準(zhǔn)過程中使用電纜、電路板線軌或Ecal模塊作為直通路徑。當(dāng)處理非插入式設(shè)備(具有同性或不兼容的連接器,在校準(zhǔn)期間需要使用適配器才能建立直通連接)時(shí),未知直通尤為有用。該適配器會(huì)給校準(zhǔn)帶來一個(gè)誤差。未知直通因?yàn)闊o需使用精密的或經(jīng)過校準(zhǔn)的適配器,并且可以最大限度地減少校準(zhǔn)期間的電纜移動(dòng),所以非常有用。它通常比其他需要去除適配器的方法更方便、更精確。

  以SOLT為基礎(chǔ)的其他校準(zhǔn)技術(shù)還包括對(duì)一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件進(jìn)行偏置。對(duì)于波導(dǎo)和其他高頻應(yīng)用來說,這個(gè)“偏置SOLT”的方法非常有效。例如,一個(gè)偏置負(fù)載可以被認(rèn)為是一個(gè)混合標(biāo)準(zhǔn)件,其中包含兩個(gè)不同長(zhǎng)度的已知偏置(發(fā)射線路)和一個(gè)負(fù)載元件。


  “Quick SOLT”或QSOLT用于多端口應(yīng)用中(網(wǎng)絡(luò)分析儀上的測(cè)量端口多于2個(gè))。這種方法有時(shí)被稱為N端口解決方案,其中N代表端口的數(shù)量。校準(zhǔn)的步驟數(shù)與端口數(shù)量成正比。QSOLT使用需要校準(zhǔn)步驟較少的數(shù)學(xué)算法,通過一組最少的連接全面解析N端口誤差模型。

  大多數(shù)SOLT校準(zhǔn)以手動(dòng)方式執(zhí)行,并且執(zhí)行起來相對(duì)容易。安捷倫網(wǎng)絡(luò)分析儀提供(逐步)引導(dǎo)式校準(zhǔn),可減少人為誤差,提高可重復(fù)性。然而,正確的校準(zhǔn)技術(shù)必須通過實(shí)踐的檢驗(yàn)。同大多數(shù)測(cè)量技術(shù)一樣,SOLT校準(zhǔn)也需要通過實(shí)踐的檢驗(yàn),以保證能夠提供最大的性能。

了解TRL校準(zhǔn)

  TRL校準(zhǔn)極為精確,在大多數(shù)情況下,精確度甚至超過SOLT校準(zhǔn)。然而絕大多數(shù)校準(zhǔn)套件中都不包含TRL標(biāo)準(zhǔn)件。在要求高精度并且可用的標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件與被測(cè)件的連接類型不同的情況下,一般采用TRL校準(zhǔn)。使用測(cè)試夾具進(jìn)行測(cè)量或使用探頭進(jìn)行晶圓上的測(cè)量,通常都屬于這種情況。因此,某些情況下需要構(gòu)建和表征與被測(cè)件配置介質(zhì)類型相同的標(biāo)準(zhǔn)件。制造和表征三個(gè)TRL標(biāo)準(zhǔn)件比制造和表征四個(gè)SOLT標(biāo)準(zhǔn)件更容易。

TRL校準(zhǔn)還有另一個(gè)重要優(yōu)勢(shì):標(biāo)準(zhǔn)件不需要像SOLT標(biāo)準(zhǔn)件那樣進(jìn)行完整或精確的定義。雖然SOLT標(biāo)準(zhǔn)件是完全按照標(biāo)準(zhǔn)的定義進(jìn)行表征和儲(chǔ)存,而TRL標(biāo)準(zhǔn)件只建立模型而不進(jìn)行完整表征,但是TRL校準(zhǔn)的精度與TRL標(biāo)準(zhǔn)件的質(zhì)量和可重復(fù)性成正比。物理中斷(例如傳輸線路彎曲和同軸結(jié)構(gòu)中的焊縫)將會(huì)降低TRL校準(zhǔn)的精度。接口必須保持清潔并允許可重復(fù)的連接。

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