2602新型測(cè)試儀器的測(cè)試應(yīng)用與設(shè)備結(jié)構(gòu)如何配合

測(cè)試應(yīng)用與設(shè)備結(jié)構(gòu)的配合

在面臨這些挑戰(zhàn)時(shí)，生產(chǎn)測(cè)試工程師必須徹底縱覽ATE前景，尋找新的硬件結(jié)構(gòu)和軟件結(jié)構(gòu)，從中找出滿足其測(cè)試功能所需的最佳選擇。當(dāng)然，根據(jù)具體應(yīng)用選擇成本最節(jié)省的設(shè)備也是必需的。但是，在絕大多數(shù)生產(chǎn)測(cè)試中，對(duì)電子部件（或模塊）重復(fù)的、序列化的測(cè)試是一個(gè)共同的要求，利用這組測(cè)試序列可對(duì)被測(cè)樣品施加電壓或電流、測(cè)量DUT反應(yīng)、將測(cè)量值與極限值進(jìn)行比較，并做出通過/失效判決等。從整個(gè)生成過程看，在生產(chǎn)初期尤為如此。對(duì)于這些應(yīng)用來(lái)說(shuō)，準(zhǔn)確的低噪聲電流、電壓源和測(cè)量能力是必不可少的。

簡(jiǎn)單的2-4引腳元器件[2]。該類DUT包括電路保護(hù)裝置、二極管[3]、LED、晶體管、三端穩(wěn)壓器、直流-直流變換器、光隔離器、MEMs開關(guān)以及繼電器等元器件。對(duì)于二端器件，可以使用一個(gè)相當(dāng)簡(jiǎn)單的源－測(cè)量規(guī)程。三端器件和四端器件需要較為復(fù)雜的測(cè)試，測(cè)試兩個(gè)通道上的快速瞬時(shí)響應(yīng)，以便產(chǎn)生準(zhǔn)確的I-V特性曲線。隨著最新的元器件分選器（Handler）已經(jīng)能以10ms每個(gè)元器件的處理速度快速篩選元器件， 儀器速度已成為了測(cè)試系統(tǒng)的瓶頸。

2611型單通道系統(tǒng)源表儀（200V）

元器件陣列[4]。此類例子包括電阻陣列（阻排）芯片、瞬時(shí)電壓抑制（TVS）陣列、集成式鐵氧體器件以及倒裝芯片陣列等。對(duì)這些器件的測(cè)試就如同在這些器件的分立模型上進(jìn)行測(cè)試一樣，然而在陣列獲得通過之前，所有的單個(gè)器件必須先測(cè)試完畢。若想獲得高的吞吐速率，這些陣列的產(chǎn)品要求采用并行的多通道測(cè)試。

IC/RFIC/晶圓上器件測(cè)試[5]。這種類型的產(chǎn)品包含多種多樣的復(fù)雜器件。在生產(chǎn)初期，一般要求對(duì)這些器件測(cè)量 nA 量級(jí)（10-9A）的靜態(tài)電流及漏電流。這樣高的靈敏度要求來(lái)源于低功率設(shè)計(jì)，這種設(shè)計(jì)有助于延長(zhǎng)電池供電的壽命。此外，該類型產(chǎn)品測(cè)試通常包括一套簡(jiǎn)單的DC測(cè)量組合，用來(lái)檢查晶圓上面所有器件的基本功能。由于每塊圓片都有數(shù)以千計(jì)的器件，因此必須采用快速的多通道測(cè)試技術(shù)。

其它復(fù)雜的器件/模塊。舉例來(lái)說(shuō)，包括電源、數(shù)據(jù)采集卡、RFIC功率放大器[6]以及混合集成電路[7]（Hybrid IC）。此類產(chǎn)品的測(cè)試要求從DC至RF范圍內(nèi)的多種測(cè)量?jī)x器，通常要求源－測(cè)量序列和多臺(tái)儀器之間進(jìn)行嚴(yán)格的時(shí)序排列，以精確表征DUT 的電學(xué)特性。采用相對(duì)較多的并行通道構(gòu)造定制的測(cè)量系統(tǒng)時(shí)，通常需要易于多臺(tái)組合的儀器和測(cè)試設(shè)備。