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傳臺(tái)積電今年將購(gòu)入18臺(tái)EUV光刻機(jī),7nm EUV最快3月量產(chǎn)

作者: 時(shí)間:2019-02-14 來(lái)源:芯智訊 收藏
編者按:來(lái)自產(chǎn)業(yè)鏈的最新消息稱,臺(tái)積電將包攬ASML今年的30臺(tái)EUV光刻機(jī)中的18臺(tái),加上之前采購(gòu)的幾臺(tái),臺(tái)積電有望在今年3月份啟動(dòng)7nm EUV的量產(chǎn),推動(dòng)7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

  目前蘋果A12/A12X、華為麒麟980、AMD Radeon VII等芯片均由代工,不過,目前量產(chǎn)的制程仍是基于DUV(深紫外)工藝。相比之下,雖然三星的目前仍未量產(chǎn),但是三星則是直接采用了更為先進(jìn)的(極紫外)工藝,有望領(lǐng)先的7nm 制程。消息稱,三星去年就小規(guī)模投產(chǎn)了7nm

本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/201902/397535.htm

  所以,臺(tái)積電要想保持優(yōu)勢(shì),就必須要加快7nm EUV的進(jìn)程。而7nm EUV工藝的關(guān)鍵在于EUV光刻機(jī),今年ASML(荷蘭阿斯麥)也計(jì)劃提高EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能,以及將年出貨量由之前的18臺(tái)提升到今年的30臺(tái)。

  而來(lái)自產(chǎn)業(yè)鏈的最新消息稱,臺(tái)積電將包攬ASML今年的30臺(tái)EUV光刻機(jī)中的18臺(tái),加上之前采購(gòu)的幾臺(tái),臺(tái)積電有望在今年3月份啟動(dòng)7nm EUV的量產(chǎn),推動(dòng)7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

  目前,ASML現(xiàn)款EUV光刻機(jī)Twinscan NXE: 3400B(今年會(huì)有新型號(hào)3400C)報(bào)價(jià)約1.2億美元(約合8億人民幣),也就是說(shuō)臺(tái)積電訂購(gòu)的這18臺(tái)EUV光刻機(jī)總價(jià)接近150億元。

  此外,臺(tái)積電還計(jì)劃在今年第二季度啟動(dòng)5nm工藝的風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn),值得注意的是,5nm必須采用EUV工藝才能夠?qū)崿F(xiàn)。

  此前臺(tái)積電聯(lián)合CEO魏哲家在投資者會(huì)議上也曾,2019年上半年晚些時(shí)候?qū)?huì)流片5nm,量產(chǎn)時(shí)間將會(huì)再2020年上半年。



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