先鋒半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)刻蝕機(jī)核心部件國(guó)產(chǎn)化，配套臺(tái)積電全球首條5nm產(chǎn)線

據(jù)泰州日?qǐng)?bào)報(bào)道，靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司實(shí)現(xiàn)了大規(guī)格集成電路晶圓刻蝕機(jī)核心部件國(guó)產(chǎn)化，并將配套全球首條5納米芯片生產(chǎn)線。

報(bào)道指出，先鋒半導(dǎo)體公司總經(jīng)理游利介紹，噴淋盤是芯片制造設(shè)備刻蝕機(jī)的主要部件，先鋒半導(dǎo)體產(chǎn)品將用于中微半導(dǎo)體公司生產(chǎn)的5納米刻蝕機(jī)，并應(yīng)用于臺(tái)積電全球首條5納米制程生產(chǎn)線。

資料顯示，先鋒半導(dǎo)體成立于2008年，是一家從事半導(dǎo)體器件、集成電路專用設(shè)備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)于一體的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品主要應(yīng)用在刻蝕機(jī)、鍍膜機(jī)等集成電路裝備，供應(yīng)給國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)OEM廠商，是中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)精密零部件的主要制造商。

2008年成立之初，先鋒半導(dǎo)體便與中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備知名廠商中微半導(dǎo)體展開(kāi)合作。2018年底，中微半導(dǎo)體突破歐美封鎖，成功研發(fā)出5納米芯片刻蝕機(jī)，其中的主要部件噴淋盤，就是先鋒半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)的。目前，先鋒半導(dǎo)體已成為中芯國(guó)際、中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、北方微電子等國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)的重要供應(yīng)商。

游利表示，下一步，先鋒將在半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)化替代、本地化研發(fā)領(lǐng)域，堅(jiān)定走“專精特新”發(fā)展之路。同時(shí)，瞄準(zhǔn)行業(yè)前沿，用國(guó)際化的眼光對(duì)標(biāo)、趕超行業(yè)先進(jìn)，致力打造全球有競(jìng)爭(zhēng)力的精密制造專家。