刻蝕機(jī) 文章進(jìn)入刻蝕機(jī)技術(shù)社區(qū)

先鋒半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)刻蝕機(jī)核心部件國產(chǎn)化，配套臺(tái)積電全球首條5nm產(chǎn)線

據(jù)泰州日?qǐng)?bào)報(bào)道，靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司實(shí)現(xiàn)了大規(guī)格集成電路晶圓刻蝕機(jī)核心部件國產(chǎn)化，并將配套全球首條5納米芯片生產(chǎn)線。報(bào)道指出，先鋒半導(dǎo)體公司總經(jīng)理游利介紹，噴淋盤是芯片制造設(shè)備刻蝕機(jī)的主要部件，先鋒半導(dǎo)體產(chǎn)品將用于中微半導(dǎo)體公司生產(chǎn)的5納米刻蝕機(jī)，并應(yīng)用于臺(tái)積電全球首條5納米制程生產(chǎn)線。資料顯示，先鋒半導(dǎo)體成立于2008年，是一家從事半導(dǎo)體器件、集成電路專用設(shè)備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品主要應(yīng)用在刻蝕機(jī)、鍍膜機(jī)等集成電路裝備，供應(yīng)給國內(nèi)外半導(dǎo)
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中微公司的刻蝕機(jī)的確水平一流，但夸大闡述其戰(zhàn)略意義，則被相關(guān)專家反對(duì)。刻蝕只是芯片制造多個(gè)環(huán)節(jié)之一?？涛g機(jī)也不是對(duì)華禁售的設(shè)備，在這個(gè)意義上不算“卡脖子”。
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　　近日，臺(tái)積電對(duì)外宣布，將在2019年第二季度進(jìn)行5nm制程風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)，預(yù)計(jì)2020年量產(chǎn)。與此同時(shí)，中微半導(dǎo)體也向“上觀新聞”透露了一個(gè)重磅消息，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電驗(yàn)證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線?！　≈档靡惶岬氖牵形雽?dǎo)體也是唯一進(jìn)入臺(tái)積電7nm制程蝕刻設(shè)備的大陸本土設(shè)備商。據(jù)悉，中微半導(dǎo)體與臺(tái)積電在28nm制程時(shí)便已開始合作，并一直延續(xù)到10nm和7nm制程。　　而中微半導(dǎo)體如此亮眼成績(jī)的背后，離不開尹志堯和他團(tuán)隊(duì)的多年努力?！　∷艞墖獍偃f年薪工作，只為一顆
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北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“七星電子”)是國內(nèi)知名電子專用設(shè)備供應(yīng)商，是我國最早的半導(dǎo)體設(shè)備研制企業(yè)，是我國第一臺(tái)半導(dǎo)體擴(kuò)散爐、第一臺(tái)等離子刻蝕機(jī)、第一臺(tái)氣體質(zhì)量流量控制器研制企業(yè)，也是我國最早的半導(dǎo)體清洗設(shè)備研制企業(yè)，完成國內(nèi)首條半導(dǎo)體生產(chǎn)線中6項(xiàng)關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)制造。
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　　記者從中國電科第48研究所(以下簡(jiǎn)稱“48所”)獲悉，近日，由VLSI Research發(fā)布的2010年度光伏設(shè)備制造商排名顯示，該所成為首個(gè)躋身光伏裝備制造業(yè)全球十強(qiáng)的中國企業(yè)?！?/li>
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　　目前，我國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)最大的特點(diǎn)是低成本。中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入市場(chǎng)有助于降低整個(gè)產(chǎn)業(yè)的成本，這是國產(chǎn)設(shè)備對(duì)整個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的貢獻(xiàn)，同時(shí)也是國產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展機(jī)會(huì)。上海微電子裝備公司的封裝光刻機(jī)、北京北方微電子公司的8英寸多晶硅刻蝕機(jī)、盛美的清洗設(shè)備、中微的12英寸刻蝕機(jī)等都是非常有競(jìng)爭(zhēng)力的設(shè)備，很多產(chǎn)品已經(jīng)走出國門。這些都是最近幾年中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的亮點(diǎn)。當(dāng)然這些成績(jī)也只是國產(chǎn)設(shè)備的初步發(fā)展，要真正做到國產(chǎn)高端設(shè)備全面進(jìn)入國內(nèi)和國際兩個(gè)市場(chǎng)還需要付出相當(dāng)多的努力。　　
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　　中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 (AMEC) 近日在舊金山宣布公司在亞洲市場(chǎng)的份額不斷增長(zhǎng)。自從2007年在日本的SEMICON隆重推出其高端的雙反應(yīng)臺(tái)，去耦合反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備以來，中微公司的設(shè)備已經(jīng)先后進(jìn)入亞洲3個(gè)地區(qū)5家先進(jìn)的芯片制造企業(yè)，并得到了多個(gè)重復(fù)訂單。中微公司 Primo D-RIE(TM) 刻蝕機(jī)被客戶用于65/45納米及更高端制造，而新的訂單已經(jīng)排到年底。最近以來，中微公司的刻蝕設(shè)備以其高產(chǎn)能，可靠性及成本優(yōu)勢(shì)吸引越來越多的尋求以高性價(jià)比刻蝕技術(shù)來滿足高端的 TSV 應(yīng)用的封裝客戶。中微公司
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　　根據(jù)過去年來的貢獻(xiàn)大小臺(tái)積電提出10大設(shè)備和材料優(yōu)秀供應(yīng)商。　　臺(tái)積電的高級(jí)副總裁及CIO Stephen Tso是這樣描述的，為了解決人類的共同問題，環(huán)境氣候變暖等。在如此挑戰(zhàn)的時(shí)代中，非常高興地看到大家對(duì)于臺(tái)積電如此的支持，并希望今后繼續(xù)攜起手來加強(qiáng)合作，共同面對(duì)未來的更大挑戰(zhàn)。　　被臺(tái)積電提名的供應(yīng)商如下：　　設(shè)備類　　最優(yōu)秀產(chǎn)品：日本Ebara(CMP)，國際電氣(高溫爐) 　　最佳支持：日本大日本網(wǎng)板(濕法清洗)，Varian(離子注入機(jī)) 　　最佳技術(shù)合作：ASML(光
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