刻蝕機 文章 進入刻蝕機技術(shù)社區(qū)
先鋒半導(dǎo)體實現(xiàn)刻蝕機核心部件國產(chǎn)化,配套臺積電全球首條5nm產(chǎn)線
- 據(jù)泰州日報報道,靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司實現(xiàn)了大規(guī)格集成電路晶圓刻蝕機核心部件國產(chǎn)化,并將配套全球首條5納米芯片生產(chǎn)線。報道指出,先鋒半導(dǎo)體公司總經(jīng)理游利介紹,噴淋盤是芯片制造設(shè)備刻蝕機的主要部件,先鋒半導(dǎo)體產(chǎn)品將用于中微半導(dǎo)體公司生產(chǎn)的5納米刻蝕機,并應(yīng)用于臺積電全球首條5納米制程生產(chǎn)線。資料顯示,先鋒半導(dǎo)體成立于2008年,是一家從事半導(dǎo)體器件、集成電路專用設(shè)備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品主要應(yīng)用在刻蝕機、鍍膜機等集成電路裝備,供應(yīng)給國內(nèi)外半導(dǎo)
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重磅!國產(chǎn)5nm刻蝕機通過驗證,將用于臺積電5nm芯片制造!
- 近日,臺積電對外宣布,將在2019年第二季度進行5nm制程風(fēng)險試產(chǎn),預(yù)計2020年量產(chǎn)。與此同時,中微半導(dǎo)體也向“上觀新聞”透露了一個重磅消息,其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電驗證,性能優(yōu)良,將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線?! ≈档靡惶岬氖牵形雽?dǎo)體也是唯一進入臺積電7nm制程蝕刻設(shè)備的大陸本土設(shè)備商。據(jù)悉,中微半導(dǎo)體與臺積電在28nm制程時便已開始合作,并一直延續(xù)到10nm和7nm制程?! 《形雽?dǎo)體如此亮眼成績的背后,離不開尹志堯和他團隊的多年努力?! ∷艞墖獍偃f年薪工作,只為一顆
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國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)發(fā)展道路光明而曲折
- 目前,我國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)最大的特點是低成本。中國半導(dǎo)體設(shè)備進入市場有助于降低整個產(chǎn)業(yè)的成本,這是國產(chǎn)設(shè)備對整個產(chǎn)業(yè)發(fā)展的貢獻,同時也是國產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展機會。上海微電子裝備公司的封裝光刻機、北京北方微電子公司的8英寸多晶硅刻蝕機、盛美的清洗設(shè)備、中微的12英寸刻蝕機等都是非常有競爭力的設(shè)備,很多產(chǎn)品已經(jīng)走出國門。這些都是最近幾年中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的亮點。當(dāng)然這些成績也只是國產(chǎn)設(shè)備的初步發(fā)展,要真正做到國產(chǎn)高端設(shè)備全面進入國內(nèi)和國際兩個市場還需要付出相當(dāng)多的努力。
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中微半導(dǎo)體加速亞洲市場布局
- 中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 (AMEC) 近日在舊金山宣布公司在亞洲市場的份額不斷增長。自從2007年在日本的SEMICON隆重推出其高端的雙反應(yīng)臺,去耦合反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備以來,中微公司的設(shè)備已經(jīng)先后進入亞洲3個地區(qū)5家先進的芯片制造企業(yè),并得到了多個重復(fù)訂單。中微公司 Primo D-RIE(TM) 刻蝕機被客戶用于65/45納米及更高端制造,而新的訂單已經(jīng)排到年底。最近以來,中微公司的刻蝕設(shè)備以其高產(chǎn)能,可靠性及成本優(yōu)勢吸引越來越多的尋求以高性價比刻蝕技術(shù)來滿足高端的 TSV 應(yīng)用的封裝客戶。中微公司
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臺積電提出其10大優(yōu)秀供應(yīng)商
- 根據(jù)過去年來的貢獻大小臺積電提出10大設(shè)備和材料優(yōu)秀供應(yīng)商。 臺積電的高級副總裁及CIO Stephen Tso是這樣描述的,為了解決人類的共同問題,環(huán)境氣候變暖等。在如此挑戰(zhàn)的時代中,非常高興地看到大家對于臺積電如此的支持,并希望今后繼續(xù)攜起手來加強合作,共同面對未來的更大挑戰(zhàn)。 被臺積電提名的供應(yīng)商如下: 設(shè)備類 最優(yōu)秀產(chǎn)品:日本Ebara(CMP),國際電氣(高溫爐) 最佳支持:日本大日本網(wǎng)板(濕法清洗),Varian(離子注入機) 最佳技術(shù)合作:ASML(光
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刻蝕機介紹
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