七星電子概況

　　北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“七星電子”)是國(guó)內(nèi)知名電子專(zhuān)用設(shè)備供應(yīng)商，是我國(guó)最早的半導(dǎo)體設(shè)備研制企業(yè)，是我國(guó)第一臺(tái)半導(dǎo)體擴(kuò)散爐、第一臺(tái)等離子刻蝕機(jī)、第一臺(tái)氣體質(zhì)量流量控制器研制企業(yè)，也是我國(guó)最早的半導(dǎo)體清洗設(shè)備研制企業(yè)，完成國(guó)內(nèi)首條半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)中6項(xiàng)關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)制造。

　　七星電子多年來(lái)一直承擔(dān)著國(guó)家多項(xiàng)科技重大專(zhuān)項(xiàng)研發(fā)任務(wù)，先后進(jìn)行了12英寸立式氧化爐、清洗機(jī)及氣體質(zhì)量流量控制器等產(chǎn)品的研發(fā)。

　　目前，七星電子已成長(zhǎng)為我國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備龍頭企業(yè)之一，是中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)單位、北京電子制造裝備行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)長(zhǎng)單位、SEMI行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員。

• 在半導(dǎo)體行業(yè)方面：

　　七星電子研制的國(guó)內(nèi)首臺(tái)300mm立式氧化爐設(shè)備，應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)線(xiàn)90/65nm工藝中的20~1000埃氧化膜生長(zhǎng)及退火等工藝。該設(shè)備重點(diǎn)解決了設(shè)備及工廠自動(dòng)化、氧化爐溫度場(chǎng)和氣流場(chǎng)分布、顆?？刂啤⑽h(huán)境氧含量控制等關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，采用自主研發(fā)的性能優(yōu)異的MBTC溫度控制系統(tǒng)，不僅解決了傳統(tǒng)PID溫控系統(tǒng)在靈活性和穩(wěn)定性方面存在的不足，并且在溫度場(chǎng)的快速建立及恢復(fù)方面具有極佳的特性。全球只有包括七星電子在內(nèi)的三家企業(yè)可以制造該設(shè)備。目前，已完成300mm立式氧化爐樣機(jī)研制，并在中芯國(guó)際生產(chǎn)線(xiàn)上完成了大部分的測(cè)試及工藝驗(yàn)證工作。

　　七星電子應(yīng)用在超大規(guī)模集成電路硅片制程的銅互連工藝階段的300mm 65nm銅互連清洗設(shè)備，其設(shè)備技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平。該設(shè)備采用單片多腔室結(jié)構(gòu)，具有占地面積小、結(jié)構(gòu)緊湊、高度自動(dòng)化、超強(qiáng)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)。設(shè)備提供工廠集成接口，符合SEMI E15.1，完全AGV，OHT 兼容，滿(mǎn)足SECS/GEM和HSMS接口協(xié)議。清洗后可達(dá)到：無(wú)光刻膠和聚合物殘留;刻蝕通孔側(cè)壁無(wú)銅的殘留物;與銅及電介質(zhì)材料如FSG、SiN等相容性;在銅表面形成保護(hù)鈍化膜層;缺陷率滿(mǎn)足65納米技術(shù)帶的要求(如顆粒指標(biāo)、水印等)。清洗機(jī)設(shè)備已完成樣機(jī)研制，即將進(jìn)入工藝驗(yàn)證階段。

• 在太陽(yáng)能光伏行業(yè)方面：

　　七星電子在高效薄膜設(shè)備及工藝、晶硅自動(dòng)化技術(shù)方面，已掌握核心技術(shù)，以良好的質(zhì)量與服務(wù)裝配了國(guó)內(nèi)外多條生產(chǎn)線(xiàn)。涉及光伏的主要產(chǎn)品包括：?jiǎn)尉t、多晶硅鑄錠爐、擴(kuò)散爐、PECVD、制絨清洗機(jī)、去PSG清洗機(jī)、石英管清洗機(jī)、石墨舟清洗機(jī)等。尤其在光伏大規(guī)模生產(chǎn)線(xiàn)上得到大量使用，其技術(shù)水平、產(chǎn)能、成本控制及自動(dòng)化程度都已達(dá)到世界領(lǐng)先水平。

　　七星電子研發(fā)的SSD8571A擴(kuò)散爐，采用了高精度、智能化、多點(diǎn)控溫技術(shù)，保證了對(duì)爐內(nèi)溫度控制的快速穩(wěn)定，確保了控溫?cái)?shù)據(jù)的快速反應(yīng)以及準(zhǔn)確性。自動(dòng)壓力平衡裝置，使?fàn)t內(nèi)外壓差為定值，且可根據(jù)工藝需求改變?cè)O(shè)定，從而提高了工藝均勻性以及工藝擴(kuò)展性。設(shè)備單片COO下降20%，單位綜合能耗下降20%以上，設(shè)備安全運(yùn)行時(shí)間實(shí)屬?lài)?guó)內(nèi)領(lǐng)先，設(shè)備維護(hù)成本低廉。在客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)行的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)一直處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平，甚至趕超國(guó)際一線(xiàn)廠商的水準(zhǔn)。該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了MES與設(shè)備端的數(shù)據(jù)交互。

　　同時(shí)，七星電子研發(fā)的SSP8471A管式PECVD為單管產(chǎn)能全球最高設(shè)備，電池片轉(zhuǎn)換效率高，屬于世界先進(jìn)水平。該設(shè)備具有獨(dú)特的射頻引入方式，且全自動(dòng)運(yùn)行并預(yù)留倒片接口。設(shè)備工藝均勻性高，差異小于 3%，配備了全自動(dòng)上下料系統(tǒng)，碎片率≤0.1%(人為失誤及隱痕裂片除外)。此外，UPTIME≥95% (總時(shí)間-正常維護(hù)時(shí)間-異常停機(jī))/總時(shí)間。該設(shè)備也實(shí)現(xiàn)了MES與設(shè)備端的數(shù)據(jù)交互。

• 氣體質(zhì)量流量計(jì)：

　　七星電子是中國(guó)氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品的領(lǐng)先制造商。產(chǎn)品國(guó)內(nèi)目標(biāo)市場(chǎng)占有率達(dá)80%。2010-2011年，已實(shí)現(xiàn)燃料電池用氣體流量控制器研發(fā)、投產(chǎn)，技術(shù)處于國(guó)際先進(jìn)水平。且12英寸集成電路氣體質(zhì)量流量控制器也已完成研發(fā)，進(jìn)入小批量生產(chǎn)階段。

　　由七星電子自主研發(fā)的CS系列質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，通過(guò)了省部級(jí)新品鑒定，該系列產(chǎn)品的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均已達(dá)到國(guó)際一流標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)品技術(shù)填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。其中，CS200系列氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品在核心技術(shù)上取得了新的突破，它采用恒功率傳感器、全金屬密封結(jié)構(gòu)、基于VCP的閥控技術(shù)、全數(shù)字信號(hào)處理和控制方法以及數(shù)字化高精度的生產(chǎn)標(biāo)定工藝，所有設(shè)計(jì)符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，已經(jīng)取得了CE認(rèn)證。該產(chǎn)品目前已經(jīng)在光伏行業(yè)內(nèi)應(yīng)用于100多條大型生產(chǎn)線(xiàn)中，得到了用戶(hù)的高度認(rèn)可。CS300系列產(chǎn)品專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)生產(chǎn)，除了具備CS200產(chǎn)品的性能之外，其與氣體接觸的零件表面均經(jīng)過(guò)電化學(xué)拋光處理，粗糙度達(dá)到Ra 5μinch;與氣體接觸的零件表面化學(xué)成分：Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)，具有壓力補(bǔ)償功能，支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS氣路系統(tǒng)。

• 光伏逆變器

　　七星電子近年進(jìn)行光伏逆變器的研發(fā)與生產(chǎn)，公司的光伏并網(wǎng)逆變器滿(mǎn)足CE標(biāo)準(zhǔn)及安規(guī)要求，并進(jìn)行了德國(guó)TUV認(rèn)證和我國(guó)金太陽(yáng)認(rèn)證，設(shè)計(jì)合理，功能全面，能效性良好。不僅擁有先進(jìn)的技術(shù)水平，而且能夠根據(jù)客戶(hù)需求進(jìn)行人性化設(shè)計(jì)，提供高端的用戶(hù)體驗(yàn)和品質(zhì)保證。

　　七星電子于2005年加入SEMI協(xié)會(huì)，多年來(lái)大力支持SEMI主辦的各項(xiàng)活動(dòng)，通過(guò)參加SEMICON CHINA展會(huì)及各種研討會(huì)等進(jìn)行行業(yè)交流。此外，七星電子積極參與SEMI關(guān)于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定，并以SEMI標(biāo)準(zhǔn)指導(dǎo)產(chǎn)品的研發(fā)和設(shè)計(jì)，得到了行業(yè)內(nèi)的廣泛認(rèn)可，不斷提高產(chǎn)品的國(guó)際化水平。一直以來(lái)，七星電子密切關(guān)注行業(yè)動(dòng)向與產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢(shì)。通過(guò)積極參加SEMI主辦的SEMICON CHINA等行業(yè)盛會(huì)以及具有前瞻性的各種專(zhuān)業(yè)研討會(huì)，保持與行業(yè)內(nèi)的交流與溝通，從而緊跟國(guó)際尖端技術(shù)潮流。