臺積電曝EUV主要機(jī)臺沒受損 美媒示警：強(qiáng)震后面臨考驗(yàn)

昨日花蓮發(fā)生規(guī)模7.2地震，外媒高度關(guān)注是否對中國臺灣護(hù)國神山臺積電造成影響，臺積電表示，部分廠區(qū)的少數(shù)設(shè)備受損，但所有極紫外（EUV）光刻設(shè)備等主要機(jī)臺皆無受損。《華爾街日報(bào)》撰文指出，臺積電坐落在世界上最大地震熱點(diǎn)之一的中國臺灣，在昨日強(qiáng)震后將受到考驗(yàn)。

報(bào)導(dǎo)指出，在此次地震中臺積電是幸運(yùn)的，因?yàn)槠渲饕O(shè)施地點(diǎn)位在北、中、南部，與東部的震央距離相對較遠(yuǎn)，這次臺積電新竹、龍?zhí)逗椭衲系瓤茖W(xué)園區(qū)的最大震度為5級 ，臺中和臺南科學(xué)園區(qū)的最大震度4級。

雖然臺積電工廠建筑物完好無損，但用于制造半導(dǎo)體的設(shè)備和材料非常精密，也可能出現(xiàn)不太明顯的損壞。報(bào)導(dǎo)提到，硅芯片約為1個披薩大小的薄片，只要有一點(diǎn)點(diǎn)小缺陷，就可能無法使用被丟棄。

此外，即使半導(dǎo)體工廠短暫停工，但也可能對生產(chǎn)造成很大影響，而且重新啟動需要時間，有可能造成高達(dá)千萬美元的損失。

臺積電則在官網(wǎng)上注明，從民國88年歷經(jīng)921地震以來，即采用超越法規(guī)的標(biāo)準(zhǔn)做好防震管理措施，不僅在震后全面檢視所有廠房與設(shè)施，陸續(xù)裝設(shè)阻尼器補(bǔ)強(qiáng)廠房結(jié)構(gòu)，同時更積極采用新的設(shè)備減震與隔震技術(shù)，以降低地震可能對營運(yùn)帶來的風(fēng)險(xiǎn)。

工商時報(bào)報(bào)導(dǎo)，臺積電昨日晚間發(fā)表聲明，在3日地震發(fā)生后僅10小時內(nèi)，晶圓廠設(shè)備的復(fù)原率已超過70％，新建的晶圓廠（如晶圓十八廠）的復(fù)原率更已超過80％。臺積電強(qiáng)調(diào)，雖然部分廠區(qū)的少數(shù)設(shè)備受損并影響部分產(chǎn)線生產(chǎn)，主要機(jī)臺包含所有極紫外（EUV）光刻設(shè)備皆無受損。