MEMS硅壓阻汽車壓力傳感器特性詳解
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圖6信號處理鏈路框圖
在溫度傳感器的輔助作用下通過信號轉(zhuǎn)換開關分時讀取壓力與溫度的數(shù)值，通過可編程增益放大器將微弱信號放大，再經(jīng)過ADC量化傳感器的信號進入數(shù)字處理器計算當前溫度和壓力下的補償后壓力輸出給數(shù)模轉(zhuǎn)換DAC輸出模擬信號。而溫度補償則可以通過通訊接口將參數(shù)寫入EEPROM供數(shù)字處理器計算時調(diào)用。如此多的功能部件均可集成制作在一塊單一芯片上，使得ASIC電路很容易和MEMS技術制作的壓力敏感芯片封裝在一個小巧的殼體中。
在寬溫度范圍內(nèi)實測校準后的傳感器有效抑制了溫度變化對其產(chǎn)生的影響。如圖7所示的多只標準信號輸出的傳感器寬溫度校準數(shù)據(jù)曲線：不難看出，在寬溫度工作環(huán)境下采用此法校準的傳感器的讀出溫度誤差約為1％一2％FS，達到寬溫度的高精度測量要求，且通過多通道的通訊接口進行校準的方法與批量制造技術兼容，實現(xiàn)制造車用傳感器的高性價比的要求。
圖7多傳感器寬溫度校準數(shù)據(jù)曲線
3綜合封裝與結論
將傳感器與信號調(diào)理電路板封裝在一個直徑23mm高27.5mm的不銹鋼金屬殼體內(nèi)并且在傳感器的一端使用接插件的方式作為信號連接，方便測試及維護?？傮w封裝后如圖8所示。
圖8總體封裝外觀圖
該MEMS硅壓阻汽車壓力傳感器在MEMS技術、封裝技術與信息技術的結合下成為一個具備高性價比的實用化產(chǎn)品。是當代先進技術的結合，值得重視其發(fā)展。
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