硅光子技術全面普及:體驗硅發(fā)光技術的進展(三)
本圖為可利用最近開發(fā)的CMOS兼容技術制作的發(fā)光元件。MIT通過注入電流成功使Ge-on-Si元件實現(xiàn)了激光振蕩(a)。日立制作所和東京大學荒川研究室也通過電流注入技術成功使Ge-on-Si元件實現(xiàn)了發(fā)光(b)。另外,東京大學大津研究室成功使pin型硅元件實現(xiàn)了高效率發(fā)光(c)。實現(xiàn)了多種波長的發(fā)光。(圖(b)由PECST制作,(c)由東京大學大津研究室拍攝)
*間接遷移型=根據(jù)波數(shù)和電子能量分析半導體的能帶結構時,價帶中能量最大的波數(shù)與導帶中能量最小的波數(shù)各不相同。波數(shù)是與動量有關的物理量,因此即使想把導帶的電子遷移到價帶中,一般來說,不符合動量守恒定律就無法遷移,也就是說無法發(fā)光。能發(fā)光的能帶結構被稱為直接遷移型。
打破這個常識的研究單位之一就是美國麻省理工學院(MIT)。MIT于2010年通過光激發(fā)使鍺發(fā)光,2012年通過注入電流,成功使鍺實現(xiàn)了激光振蕩。
成功的秘訣是對鍺進行高濃度n型摻雜,將其能帶結構變成直接遷移型。目前的摻雜濃度為4×1019個/cm3,對于半導體來說非常高。在有關鍺的研究中,與MIT有交流的東京大學的和田自信地表示,“還差一步,如果能達到1020個/cm3以上的摻雜,就能實現(xiàn)與化合物半導體相當?shù)陌l(fā)光增益。硅光子全部能利用(硅和鍺等)IV族材料實現(xiàn)”。
日立制作所和東京大學荒川研究室也實現(xiàn)了鍺發(fā)光。日立制作所到2年前為止一直在進行通過量子效果使硅發(fā)光的研究,之后開始研究鍺。同樣是利用高濃度的n型摻雜鍺,在此基礎上通過SiN對鍺施加應變,并已確認這種方法可以提高發(fā)光強度。
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