<center id="y6maa"></center>

新聞中心

EEPW首頁(yè) > EDA/PCB > 設(shè)計(jì)應(yīng)用 > 等離子處理提高65nm邏輯器件可靠性

等離子處理提高65nm邏輯器件可靠性

作者：時(shí)間：2009-05-20 來(lái)源：網(wǎng)絡(luò)

加入技術(shù)交流群
- 掃碼加入
  和技術(shù)大咖面對(duì)面交流
  海量資料庫(kù)查詢(xún)

收藏

等離子預(yù)處理作用

為了了解等離子處理對(duì)Cu/SiN界面的作用，在PECVD系統(tǒng)中于淀積SiN體薄膜前有和沒(méi)有預(yù)處理情況下淀積SiN薄膜。通過(guò)用SIMS測(cè)量Cu和SiN界面污染，研究等離子預(yù)處理的作用。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)說(shuō)明，淀積SiN體薄膜前用NH3處理可顯著減少Cu和SiN界面處的O和C含量（圖3）。增加預(yù)處理時(shí)間也可使O和C含量減少，見(jiàn)圖4和圖5，這表明NH3預(yù)處理是去除有機(jī)污染和減少到Cu的Cu-O的有效方法。

上一頁(yè) 1 2 3 4 5 下一頁(yè)

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=114&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a7a83b30' border='0' alt='' /></a>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=115&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a3d98779' border='0' alt='' /></a>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=116&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=abca108c' border='0' alt='' /></a>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=117&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a1775170' border='0' alt='' /></a>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=118&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a449048b' border='0' alt='' /></a>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=119&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=ae6854a5' border='0' alt='' /></a>

關(guān)鍵詞： SiN 65nm

評(píng)論

我來(lái)說(shuō)兩句……

驗(yàn)證碼：

相關(guān)推薦

模擬輸入和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)相乘的R.SINθ轉(zhuǎn)換電路

模擬技術(shù) SIN 模擬輸入數(shù)字數(shù)據(jù) | 2012-03-12

在65nm Cyclone III FPGA 中實(shí)現(xiàn)低功耗

資源下載 65nm Cyclone III FPGA 低功耗設(shè)計(jì) | 2007-10-15

Altera在65nm半導(dǎo)體工藝上的發(fā)展策略

資源下載 Altera 65nm | 2016-06-01

三部委：對(duì)小于65nm邏輯電路等免征進(jìn)口關(guān)稅

EDA/PCB 65nm 邏輯電路 | 2021-03-30

基于65nm工藝數(shù)字IC物理設(shè)計(jì)中信號(hào)串?dāng)_的預(yù)防

電源與新能源設(shè)計(jì) 信號(hào) 預(yù)防物理 IC 65nm 工藝數(shù)字基于 | 2012-05-09

Microsemi發(fā)布全新65nm嵌入式快閃平臺(tái)

嵌入式系統(tǒng) Microsemi 65nm FPGA | 2010-11-25

實(shí)現(xiàn)模擬輸入和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)相乘的R.sin轉(zhuǎn)換電路

設(shè)計(jì)方案 sin 模擬輸入數(shù)字數(shù)據(jù) | 2013-11-25

Altera在65nm半導(dǎo)體工藝上的發(fā)展策略

資源下載 Altera 65nm FPGA 工程策略 | 2012-04-12

打造中國(guó)本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈

EDA/PCB 半導(dǎo)體 65nm | 2013-03-26

采用FPGA 時(shí)序模型保證硅片性能

資源下載 Altera FPGA 時(shí)序模型 65nm Quartus II | 2012-04-20

在65nm Cyclone III FPGA中實(shí)現(xiàn)低功耗

資源下載 Altera Cyclone III FPGA 65nm | 2012-04-12

怎么在tornado22中編譯生成可以用singlestep調(diào)試的image??

marker | 2007-08-15

Microsemi發(fā)布65nm嵌入式快閃平臺(tái)

嵌入式系統(tǒng) Microsemi 65nm SoC | 2010-11-18

應(yīng)對(duì)65nm以下測(cè)量技術(shù)挑戰(zhàn)

測(cè)試測(cè)量 65nm | 2011-12-22

DAVEDRIVE可生成SVPWM源碼、PID、SINTABLE

zguox | 2012-11-27

美國(guó)再次放寬對(duì)華高技術(shù)產(chǎn)品出口 65nm以下刻蝕設(shè)備不再受限

EDA/PCB 刻蝕設(shè)備 65nm | 2010-10-09

SiN市場(chǎng)值得持續(xù)投資

國(guó)際視野 SIN 氮化硅 | 2023-10-13

最經(jīng)典的嵌入式入門(mén)教程

uplooking | 2010-06-21

Synopsys宣布提供DesignWareTM數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器IP

EDA/PCB Synopsys 65nm 數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器 | 2011-04-25

實(shí)現(xiàn)模擬輸入和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)相乘的R.SINθ轉(zhuǎn)換電路圖

設(shè)計(jì)方案實(shí)現(xiàn) 模擬輸入數(shù)字數(shù)據(jù) 相乘 R.SIN 轉(zhuǎn)換電路圖 | 2010-08-31

SIN210學(xué)習(xí)筆記__開(kāi)箱

HelloWii | 2015-01-08

SIN210學(xué)習(xí)筆記_響應(yīng)式web設(shè)計(jì)

HelloWii | 2015-03-20

上一篇：對(duì)比與分析太陽(yáng)能發(fā)電的六大獨(dú)特優(yōu)勢(shì)

下一篇：淺談新材料為測(cè)量帶來(lái)的挑戰(zhàn)

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=86&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a674caa6' border='0' alt='' /></a>

焦點(diǎn)
更多>>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=112&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a65cd760' border='0' alt='' /></a> <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=113&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a38c0199' border='0' alt='' /></a>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=85&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a50e4511' border='0' alt='' /></a>

推薦視頻
更多>>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=84&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=aaeb3436' border='0' alt='' /></a>

<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=98&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a059f6fc' border='0' alt='' /></a>

技術(shù)專(zhuān)區(qū)

FPGA

DSP

MCU

示波器

步進(jìn)電機(jī)

Zigbee

LabVIEW

Arduino

RFID

NFC

STM32

Protel

GPS

MSP430

Multisim

濾波器

CAN總線(xiàn)

開(kāi)關(guān)電源

單片機(jī)

PCB

USB

ARM

CPLD

連接器

MEMS

CMOS

MIPS

EMC

EDA

ROM

陀螺儀

VHDL

比較器

Verilog

穩(wěn)壓電源

RAM

AVR

傳感器

可控硅

IGBT

嵌入式開(kāi)發(fā)

逆變器

Quartus

RS-232

Cyclone

電位器

電機(jī)控制

藍(lán)牙

PLC

PWM

汽車(chē)電子

轉(zhuǎn)換器

電源管理

信號(hào)放大器

關(guān)閉
<a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=120&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a3b5323a' border='0' alt='' /></a>

技術(shù)頻道

嵌入式

元件/連接器

電源管理

安防電子

汽車(chē)電子

EDA與制造

消費(fèi)電子

工業(yè)電子

模擬IC

醫(yī)療電子

測(cè)試測(cè)量

通信技術(shù)

光電顯示

智能計(jì)算

網(wǎng)絡(luò)與存儲(chǔ)

物聯(lián)網(wǎng)

技術(shù)子站

PI技術(shù)專(zhuān)區(qū)

ADI視頻專(zhuān)區(qū)

ZYNQ技術(shù)社區(qū)

ADI技術(shù)專(zhuān)區(qū)

維博專(zhuān)區(qū)

貝能技術(shù)社區(qū)

Microchip資源技術(shù)社區(qū)

Fluke技術(shù)社區(qū)

Microchip視頻技術(shù)社區(qū)

賽靈思社區(qū)

IR iMotion 數(shù)字電機(jī)技術(shù)社區(qū)

英特爾Quark開(kāi)發(fā)者俱樂(lè)部

MultiSIM BLUE

Andes專(zhuān)區(qū)

蔡司光學(xué)專(zhuān)欄

全媒體矩陣

EEPW微信公眾號(hào)

EEPW視頻號(hào)

EEPW Bilibili號(hào)

EEPW頭條號(hào)

EEPW抖音號(hào)

EEPW編輯部日常

Copyright ? 電子產(chǎn)品世界關(guān)于我們聯(lián)系我們廣告服務(wù) 人才招聘網(wǎng)站地圖

感谢您访问我们的网站，您可能还对以下资源感兴趣：
暖暖www直播免费高清最新期