車用TPMS專用傳感器技術(shù)剖析

為了便于TPMS接收器的識(shí)別，每個(gè)壓力傳感器都具有32位獨(dú)特的ID碼，它可產(chǎn)生4億個(gè)不重復(fù)的號(hào)碼。


圖3壓力、加速度與ASIC/MCU組合封裝在一個(gè)包裝內(nèi)



圖4壓力/溫度導(dǎo)入孔

圖5硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)

圖6加速度傳感器平面結(jié)構(gòu)圖

圖7加速度傳感器切面結(jié)構(gòu)圖
　　
同樣，加速度傳感器也是用MEMS技術(shù)制作的，圖6是MEMS加速度傳感器平面結(jié)構(gòu)圖，圖7是加速度傳感器切面結(jié)構(gòu)圖，圖中間是一塊用MEMS技術(shù)制作的、可隨運(yùn)動(dòng)力而上下可自由擺動(dòng)的硅島質(zhì)量塊，在其與周邊固置硅連接的硅樑上刻制有一應(yīng)變片，與另外三個(gè)刻制在固置硅上的應(yīng)變片組成一個(gè)惠斯頓測量電橋，只要質(zhì)量塊隨加速度力擺動(dòng)，惠斯頓測量電橋的平衡即被破壞，惠斯頓測量電橋就輸出一個(gè)與力大小成線性的變化電壓△V。