用激光平面千涉儀測(cè)量光學(xué)平板玻璃的平行差

　　平板玻璃是指兩個(gè)表平面相互平行的玻璃板。，在加工中，由于加工設(shè)備、測(cè)量?jī)x器等因素，不可能將兩個(gè)表平面加工的絕對(duì)平行，總是會(huì)形成一定的角度，這個(gè)角度就是平行平板玻璃的平行性誤差，用誤差角習(xí)表示，見圖1.

　　利用自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡測(cè)量平行平板玻璃的平行性誤差是一種最基本的方法，它使用簡(jiǎn)便，很容易看出上下表面反射回象所分開的距離

　　所以被廣泛使用。但由于人眼的鑒別力和自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡精度的有限(單管測(cè)角儀精度為6“)。所以，我們采用了精度較高的干涉法來測(cè)量平行平板玻璃的平行性誤差。

　　測(cè)量原理

　　圖2為用等厚干涉條紋測(cè)量平行平板玻璃的平行性誤差裝置(實(shí)際上就是一臺(tái)不帶標(biāo)準(zhǔn)平面的平面干涉儀)。圖3所示激光光源把位于物鏡焦面的小孔照亮，從物鏡射出一束平行光，并且垂直地入射在被測(cè)玻璃板上。經(jīng)過上下兩個(gè)表面反射后形成兩束相干光，干涉場(chǎng)位于被測(cè)玻璃板的中間，如圖中虛線所示的位置。反射回去的光再經(jīng)過物鏡后會(huì)聚在觀察孔處，兩相干光在觀察孔處形成兩個(gè)相互稍稍分開的光源小孔象。人眼位于觀察孔處，并調(diào)節(jié)至干涉場(chǎng)處，即可觀察到干涉條紋。

　　由物理光學(xué)中已經(jīng)給出，當(dāng)波長(zhǎng)為入的單色光以入射角為i射到折射率為n的玻璃薄板時(shí)，由玻璃薄板上表面和下表面分別反射，形成兩束相干光①和②，見圖4。這兩束相干光之間的光程差△可以寫為:

　　如果被測(cè)玻璃板兩個(gè)表面的平面度良好，則當(dāng)沒有平行性誤差時(shí)，即厚度h處處相等，也就是光程差處處相等，此時(shí)所看到的干涉場(chǎng)應(yīng)是一片均勻的亮度。若有平行性誤差存在時(shí)，兩表面有，二夾角0，厚度是變化的，此時(shí)光程差也是變化的，所以看到的干涉場(chǎng)內(nèi)應(yīng)有互相平行的亮暗間隔，并且間隔距離相等，如圖2中所示在被測(cè)玻璃板的寬度為b的AB兩端，厚度分別為hJ和h。