用激光平面千涉儀測量光學平板玻璃的平行差

　　這種方法首先在光膠玻璃上涂臘，在涂臘過程中，應盡可能在墊板中心和四周留有透光的部分，如圖8中所示黑的部分就是留透光孔的地方。調(diào)整干涉儀，使其標準平面

　　與墊板上表面發(fā)生的干涉條紋中調(diào)整到與墊板中心重合(圖中黑色線表示干涉條紋，墊板的干涉條紋就是留出的小孔部分)。然后觀察零件表面的千涉條紋，看其中心偏向那邊。如果墊板零件表面都是低光圈時，心在那邊，那邊薄，背向即為厚端。最后修至墊板和零件表面干涉條紋成同心圓。

　　如果墊板光圈呈直線，即N0.1時，光圈圈不起來，無法對中心，這時只需把墊板光帶調(diào)成最寬狀聲，中心已不見光帶，只見一片均勻光，只能從邊緣四個小孔中看到一點光帶，見圖9。此時墊板表面和標準平面的干涉條紋接近平行，即相當對準了中心。然后觀察零件表面干涉條紋心偏向那邊，那邊為薄，然后壓厚的一方繼續(xù)修整。直至墊板條紋與零件條紋重合，就證明墊板表面與零件表面是平行狀態(tài)，如圖10所示。

　　此時即可下盤，一般4護以下是能夠保證的。如果光膠時無塵，而且零件第一面光圈很好，N0.1，這時有的平行差可高至l“~2“。上邊所講都是墊板和零件表面是低光圈的現(xiàn)象。如果零件表面是高光圈時，薄厚端正好相反，見圖11所示。心向的便是厚端，背向即為薄端。

　　從圖12中可以可看出，由于零件表面高光圈，中心厚，應采取降光圈的方法，直至改至圖13所示的情況

　　以上幾種情況還可以此類推，如一面是高光圈，一面是低光圈，還要看那面高多少，那面低多少等?？傊捎趦蓚€表面各點光程差不等，呈現(xiàn)出相應的干涉圖樣，通過對圖樣的觀察、分析，具體情況具體對待。