相移干涉技術(shù)在小角度及直線度測(cè)量中的應(yīng)用

　　4　導(dǎo)軌直線度測(cè)量實(shí)驗(yàn)

　　直線度誤差與角度變化的關(guān)系如下式:

　　其中,L為板橋跨度,即測(cè)角采樣長(zhǎng)度。根據(jù)上述原理,我們應(yīng)用Zygo GPI數(shù)字波面干涉儀對(duì)一根行程1 m的滾珠直線導(dǎo)軌進(jìn)行了檢測(cè)。測(cè)量結(jié)果如表1所示。

　　利用表1中的數(shù)據(jù)得到導(dǎo)軌兩方向直線度誤差曲線如圖3所示,并利用最小二乘法對(duì)其擬合。對(duì)X方向直線度測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行線性擬合,得到:

　　按照擬合直線的斜率對(duì)原始數(shù)據(jù)進(jìn)行坐標(biāo)旋轉(zhuǎn),得到去掉傾斜值的直線度誤差數(shù)據(jù),根據(jù)式(24)最終計(jì)算得到導(dǎo)軌X方向的直線度18·014μm,Y方向的直線度32·327μm。

　　5　精度分析

　　由于相移干涉儀所使用CCD的像元數(shù)為512×512,這樣系統(tǒng)的分辨率為λ/512。當(dāng)反射鏡與參考鏡的口徑相同均為100 mm時(shí),轉(zhuǎn)換到角度測(cè)量分辨率為λ/(512×100),其中λ=0·632 8μm。在小角度測(cè)量時(shí),tanα等于后次測(cè)量的傾斜系數(shù)減去前次測(cè)量的傾斜系數(shù),而傾斜系數(shù)表示的是反射鏡與參考鏡之間的相對(duì)位置關(guān)系,與參數(shù)鏡和反射鏡本身的面形精度無(wú)關(guān)。這樣,利用相移干涉技術(shù)的小角度測(cè)量精度只與干涉儀的重復(fù)測(cè)量精度有關(guān),本實(shí)驗(yàn)中所使用干涉儀的重復(fù)測(cè)量精度優(yōu)于λ/100,轉(zhuǎn)換成角度測(cè)量精度為λ/(100×100)。

　　6　結(jié)論

　　本文利用相移激光干涉儀結(jié)合Zernike波面擬合技術(shù)對(duì)小角度的測(cè)量進(jìn)行了探討和研究,證明該方法用于小角度和直線度測(cè)量時(shí),與一般方法相比,能大大提高測(cè)量分辨率和測(cè)量精度,為小角度和直線度的高精度測(cè)量提供了一條新的途徑。

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