應(yīng)用材料公司推出新eHARP 系統(tǒng)

　　近日，應(yīng)用材料公司推出Applied Producer® eHARP™ 系統(tǒng)，為32納米及更小工藝節(jié)點(diǎn)上關(guān)鍵的STI（淺溝槽隔離）器件結(jié)構(gòu)提供已被生產(chǎn)驗(yàn)證的HARP SACVD®空隙填充技術(shù)。eHARP工藝能夠提供無(wú)孔薄膜，用于填充小于30納米、長(zhǎng)寬比大于12:1的空隙，從而滿足先進(jìn)存儲(chǔ)器件和邏輯器件的關(guān)鍵制造要求。該系統(tǒng)擁有多項(xiàng)工藝創(chuàng)新專利，能提供強(qiáng)勁的高密度應(yīng)力誘導(dǎo)薄膜，幫助推動(dòng)傳統(tǒng)的平坦化和新興的3-D器件結(jié)構(gòu)向更小的技術(shù)節(jié)點(diǎn)發(fā)展。

　　應(yīng)用材料公司副總裁兼電介質(zhì)系統(tǒng)和化學(xué)機(jī)械研磨事業(yè)部總經(jīng)理Bill McClintock表示：“在過(guò)去的14年中，應(yīng)用材料公司作為業(yè)界的領(lǐng)先企業(yè)一直為客戶提供最先進(jìn)的HDP-CVD和SACVD空隙填充技術(shù)，滿足客戶最緊迫的工藝要求。Producer eHARP系統(tǒng)為客戶提供了32納米及更小技術(shù)節(jié)點(diǎn)上STI空隙填充的發(fā)展路徑，同時(shí)也不需要對(duì)現(xiàn)有的工藝流程進(jìn)行過(guò)大的改動(dòng)?？蛻魝儗?duì)eHARP系統(tǒng)的能力感到非常興奮，其中一些重要的器件生產(chǎn)廠商還將eHARP選定為先進(jìn)邏輯器件和存儲(chǔ)器件開(kāi)發(fā)制造的參考系統(tǒng)。”

　　Producer eHARP技術(shù)同非CVD空隙填充技術(shù)相比，能夠提供最低的每片晶圓成本。eHARP薄膜不含碳，不需要保護(hù)層或者覆蓋層，能方便地和傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械研磨工藝整合，并提供可靠強(qiáng)勁的器件隔離效果。此外，eHARP系統(tǒng)工藝中所使用的化學(xué)物品已經(jīng)經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，不會(huì)產(chǎn)生有害的液體副產(chǎn)品，因此也不需要特殊的化學(xué)處置。

　　eHARP工藝基于應(yīng)用材料公司聲譽(yù)卓著的Producer平臺(tái)，該平臺(tái)被業(yè)內(nèi)每一家芯片制造廠商用于包括低k沉積、應(yīng)力工程、光刻薄膜、PECVD*和SACVD*等先進(jìn)應(yīng)用中。超過(guò)500臺(tái)Producer系統(tǒng)已經(jīng)被運(yùn)送到客戶處用于SACVD應(yīng)用，進(jìn)行升級(jí)后它們?nèi)靠梢赃\(yùn)行eHARP工藝。